Gebraucht INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 #293827895 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293827895
Wafergröße: 4"
Plasma ashing system, 4"
Pump / Blower models: D30A
(8) Cryopump
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Power supply.
INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die fortschrittliche Plasmabearbeitungsmöglichkeiten für die Halbleiterherstellung und andere High-Tech-Industrien bietet. Dieses System wurde entwickelt, um ein präzises und gleichmäßiges Plasmaätzen und Aschen verschiedener Materialien mit hohem Durchsatz und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Es umfasst modernste Technologien und Funktionen, um den anspruchsvollen Anforderungen moderner Fertigungsprozesse gerecht zu werden. Das Gerät verwendet ein reaktives Ionenätzverfahren (RIE), um Material von der Oberfläche eines Substrats mit hoher Präzision und Kontrolle zu entfernen. Es bietet auch Aschefähigkeiten zur Entfernung von Photoresist und anderen organischen Verunreinigungen von der Substratoberfläche. Das PN-1813 ist mit mehreren Gaseinspritzöffnungen, HF-Stromversorgungen und Temperaturregelungssystemen ausgestattet, um die Plasmaprozessparameter an die spezifischen Anwendungsanforderungen anzupassen. Eines der Hauptmerkmale von 3000 PN-1813 ist seine fortschrittliche Vakuummaschine, die eine saubere und stabile Verarbeitungsumgebung gewährleistet. Das Werkzeug ist mit einer Turbomolekularpumpe, einer Kryopumpe und verschiedenen Manometern ausgestattet, um die erforderlichen Vakuumwerte für eine optimale Plasmabearbeitungsleistung zu erreichen und aufrechtzuerhalten. Zur Vakuumanlage gehört auch eine Lastschloßkammer für effizientes Be- und Entladen von Substraten, ohne die Vakuumverhältnisse der Prozesskammer zu beeinträchtigen. Das PN-1813 Modell wird über eine benutzerfreundliche Oberfläche gesteuert, mit der der Bediener Prozessparameter, Rezeptprofile und Echtzeit-Datenrückmeldungen einstellen und überwachen kann. Die Software des Geräts ermöglicht eine präzise Steuerung von Gasdurchsätzen, HF-Leistungsstufen, Prozesszeit und anderen kritischen Parametern, um die gewünschten Ätz- und Ascheergebnisse konsistent zu erzielen. Die Software enthält auch Diagnosetools zur Fehlerbehebung und vorbeugenden Wartung, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität zu maximieren. In Bezug auf die Plasmaerzeugung nutzt die INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 eine hochfrequente HF-Stromquelle, um das Plasma innerhalb der Prozesskammer zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Das Plasma wird durch Aufbringen von HF-Leistung auf das in die Kammer eingespritzte Gasgemisch erzeugt, wodurch sich reaktive Spezies bilden, die mit der Substratoberfläche zusammenwirken, um das Material effektiv zu ätzen oder zu aschen. Die Netzteile des Systems sind so konzipiert, dass sie stabile und zuverlässige HF-Leistung für eine konstante Plasmaleistung während des gesamten Verarbeitungszyklus liefern. Das PN-1813 wird mit hochwertigen Materialien und Komponenten gebaut, um langfristige Zuverlässigkeit und Haltbarkeit in einer Produktionsumgebung zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über ein ergonomisches Design für einfachen Wartungs-Zugang und Wartungsfreundlichkeit, so dass eine schnelle und effiziente Fehlerbehebung und Komponentenaustausch bei Bedarf ermöglicht. INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION bietet auch umfassende Schulungsprogramme und technische Support-Services, um Kunden bei der Maximierung der Leistung und Verfügbarkeit der PN-1813 Maschine zu unterstützen. Abschließend stellt 3000 PN-1813 Ätzer/Ascher-Werkzeug eine hochmoderne Lösung für hochpräzise Plasmabearbeitungsanwendungen in der Halbleiterherstellung und anderen fortschrittlichen Industrien dar. Mit seinen fortschrittlichen Technologien, präzisen Steuerungsfunktionen und einem robusten Design bietet die PN-1813 eine hervorragende Ätz- und Ascheleistung für eine breite Palette von Materialien und Substraten und ist damit eine ideale Wahl für Unternehmen, die qualitativ hochwertige und zuverlässige Plasmabearbeitungsergebnisse erzielen möchten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor