Gebraucht JESAGI JSPES-W21 #293761868 zu verkaufen

JESAGI JSPES-W21 ist eine Ätz- und Aschemaschine, die entwickelt wurde, um eine hochgenaue Verarbeitung von Schaltungen und Halbleitern zu ermöglichen. Das System ist mit einer Mikrowellen-Plasmaquelle ausgestattet, die für Niedertemperaturätzen ausgelegt ist, und einer thermischen chemischen Ätzung für höhere Temperaturaschen. Das Gerät ist mit zwei unabhängigen, hochauflösenden Prozesskammern mit einer Vakuumkapazität von ca. 200-400 mTorr ausgestattet, die eine optimale Präzision und Steuerung bieten. Zusätzlich hat der Ätzer eine maximale Prozesskammergröße von 800 mm x 800 mm, so dass der Anwender größere Substrate verarbeiten kann. Die Einheit verfügt über eine einzigartige Kombination einer planaren induktiven Spule zusammen mit einer Mikrowellenenergiequelle, um die Waferhomogenität beim Ätzen zu optimieren. Das Seitenverhältnis reicht von 0,5: 1 bis 4:1 und ermöglicht die Herstellung dichter und flacher Strukturen sowie die Größe des Mikrostrukturmerkmals von unter 1 Mikron. JSPES-W21 ist auch mit automatisierten Steuerungsfunktionen mit einer benutzerfreundlichen Softwareschnittstelle ausgestattet. Es ermöglicht programmierbare Sollwerte und Rezept-Management, mit der Fähigkeit zum Speichern und Zurückrufen von Ätz- und Ascherezepten sowie zur Überwachung des Prozesses in Echtzeit. Darüber hinaus sorgt der integrierte programmierbare Logikcontroller (SPS) für vereinfachte Hardwareoperationen und Service, mit einer Diagnose- und Wartungsmaschine zur Reduzierung des manuellen Gesamtaufwands. JESAGI JSPES-W21 verfügt außerdem über eine vertikale Lastverriegelungsroboterbaugruppe, um den Werkzeugabdruck zu minimieren und den Produktionsdurchsatz zu maximieren. Der Lastverschlussroboter kann Standard- und kundenspezifische Substrate mit einer maximalen Größe von 200 x 200 mm handhaben, und mit insgesamt 10 Ober- und Unterladern verriegelt er maximal 20 Wafer gleichzeitig an den Prozesskammern. Das innovative Load-Lock Asset ist so konfiguriert, dass es durch seinen modularen Aufbau eine einfache Wartung und Upgrades ermöglicht. Abschließend ist JSPES-W21 ein robustes und modulares Modell, das präzise Ätz- und Aschefunktionen mit programmierbarer Automatisierung bietet. Die Anlagen eignen sich für die Klein- bis Mittelserienfertigung und bieten Präzisionsprozesse mit Zuverlässigkeit und schnellen Umlaufzeiten. Mit seiner automatisierten Steuerung und niedrigen Temperaturfähigkeit kann es die Herstellung von vielfältigen und komplizierten Strukturen ermöglichen.