Gebraucht KC TECH KCT-W300S #293757182 zu verkaufen
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ID: 293757182
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
PR Stripper, 12"
Process flow: SPM / BOE / SC1
2009 vintage.
KC TECH KCT-W300S ist eine anspruchsvolle und innovative Ätz-/Aschermaschine, die für präzise und qualitativ hochwertige Substratverarbeitung in der Halbleiter-, MEM-, LED-und anderen Mikroelektronik-Industrie entwickelt wurde. Diese fortschrittliche Ausrüstung kombiniert Plasmaätz- und Aschefunktionen, um eine vielseitige und effiziente Lösung für eine breite Palette von Anwendungen zu bieten, einschließlich Waferreinigung, Descumming, Resist Stripping und Mustertransfer. Mit einem kompakten und ergonomischen Design ist KCT-W300S mit modernster Technologie und fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, um präzise und zuverlässige Verarbeitungsergebnisse zu erzielen. Das System umfasst einen Hochleistungs-HF-Plasmagenerator, eine automatische Drucksteuereinheit, ein Temperaturregelmodul und eine benutzerfreundliche Schnittstelle für einfache Bedienung und Überwachung. Eines der wichtigsten Highlights von KC TECH KCT-W300S ist der Dual-Mode-Betrieb, mit dem Benutzer nahtlos zwischen Ätz- und Ascheprozessen wechseln können. Diese Flexibilität ermöglicht es der Maschine, verschiedene Arten von Substraten und Materialien zu handhaben, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Metalle, Polymere und mehr. Der Ätzprozeß beinhaltet die Entfernung von Material von der Substratoberfläche mittels chemisch reaktivem Plasma, während der Aschprozeß zum Strippen von organischen Materialien und Verunreinigungen verwendet wird. KCT-W300S Tool bietet eine Reihe von Prozessparameteranpassungen, wie Gasflussraten, Druckniveaus, Leistungseinstellungen und Prozesszeit, um die Verarbeitungsbedingungen an die spezifischen Anwendungsanforderungen anzupassen. Die präzise Steuerung dieser Parameter gewährleistet gleichmäßige und reproduzierbare Ergebnisse über mehrere Substrate hinweg, was zu einer verbesserten Prozesseffizienz und Ausbeute führt. Darüber hinaus ist KC TECH KCT-W300S mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um sowohl den Bediener als auch die Ausrüstung während des Betriebs zu schützen. Dazu gehören Lecksuchsensoren, Überdruckschutzmechanismen, Verriegelungssysteme und Notabschaltfunktionen, um Unfälle zu vermeiden und eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Leistungsfähig bietet KCT-W300S dank fortschrittlicher Plasmatechnologie und optimiertem Kammerdesign hohe Durchsatz- und Prozessgleichmäßigkeit. Die Anlage ist in der Lage, hohe Ätz- und Ascheraten zu erreichen, was zu schnellen Verarbeitungszeiten und verbesserter Produktivität für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen führt. Darüber hinaus ist KC TECH KCT-W300S für einfache Wartung und Wartung konzipiert, mit zugänglichen Komponenten und einem modularen Aufbau, der einen schnellen und problemlosen Austausch von Verbrauchsteilen ermöglicht. Dies trägt dazu bei, Ausfallzeiten zu minimieren und sicherzustellen, dass das Modell jederzeit betriebsbereit bleibt, was zu einer erhöhten Gesamteffektivität der Ausrüstung und Kosteneinsparungen beiträgt. Insgesamt ist KCT-W300S Ätz-/Aschermaschine eine hochmoderne Lösung für anspruchsvolle Mikroelektronik-Verarbeitungsanwendungen, die überlegene Leistung, Flexibilität und Effizienz in einem kompakten und benutzerfreundlichen Paket bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ist dieses Gerät gut für Forschungs- und Produktionsumgebungen geeignet, in denen Präzision, Zuverlässigkeit und hohe Prozessqualität unerlässlich sind.
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