Gebraucht KEM / KOKUSAI Lambda 200 #9075057 zu verkaufen

KEM/KOKUSAI Lambda 200 Ätzer/Ascher ist eine Präzisionsätz- und Ascheausrüstung, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Bereichen, insbesondere der Herstellung von integrierten Schaltungen und der Mikroherstellung, entwickelt wurde. Dieses System nutzt Sauerstoffreaktivität zu Ätz- und Aschemetallen, Keramiken und Siliziummaterialien. KEM Lambda 200 ist mit einer Reihe von Ätz- und Aschefunktionen mit einer Vielzahl von Designoptionen konzipiert. Die Grundeinheit umfasst eine Ätzkammer und eine entsprechende Aschkammer. Diese Kammern sind über ein Lastschloß verbunden, wodurch die Übertragung des Substrats von einer Kammer zur anderen effizient und nachvollziehbar ist. Die Ätzkammer enthält eine Gleichstromversorgung mit extern steuerbaren Impulsfähigkeiten im Bereich von 1 bis 25 mA. Dadurch kann der Anwender das Ätzen präzise steuern und durch Einstellung der Reaktivität bei hohen Raten eine verbesserte Selektivität erzielen. Die hohe Rate reduziert die Effekte der Linienverengung an den Ecken von Strukturen. Zusätzlich liefert das Netzteil DC-Vorspannung mit einem einstellbaren Parameterbereich bis 4V. Diese Voreingenommenheit hilft bei verschiedenen Ätzprozessen. Die Ätzkammer weist eine vierstufige Turbomolekularvakuummaschine auf und wird von einem Direktantriebsmotor für hohen Durchsatz unterstützt. Zusätzlich weist die Kammer eine lineare Bewegungsstufe zur Substrattranslation und einen optischen Port zur Betrachtung des Ätzprozesses in-situ auf. Die Aschekammer ist mit einem Sauerstoffaschwerkzeug gekoppelt. Diese Anlage verfügt über drei unabhängige Gasventile und ermöglicht unabhängige Anpassungen und Kombination für optimale Ergebnisse. Zusätzlich können mehrere Gase wie Stickstoff, Wasserstoff, Argon und CO2 zur Steuerung des Ätz- oder Ascheprozesses verwendet werden. Das Modell ist mit einfach zu bedienender automatisierter Sequenzierung ausgelegt und der gesamte Prozess kann von einem angeschlossenen Computer aus eingerichtet werden. Das macht die Ausrüstung sehr effizient. Alle Daten über den Prozess können auch aufgezeichnet und zur historischen Analyse gespeichert werden. KOKUSAI Lambda 200 ist ein robustes und zuverlässiges Ätz- und Aschesystem, das wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse liefert und für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann. Dies macht es unter anderem eine gute Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheaufgaben.