Gebraucht KEM / KOKUSAI Lambda 200IE #188566 zu verkaufen

KEM/KOKUSAI Lambda 200IE ist ein Ätzer und Ascher entwickelt, um eine breite Palette von Halbleiterscheiben zu verarbeiten. Dieses Gerät verwendet LAM-5000 Technologie, um Elektronen auf die Waferoberfläche zu liefern. KEM Lambda 200IE besteht aus einem zweiteiligen Ladesystem, das bis zu 8 Substrate aufnimmt. Die automatisierte Kassette ist mit dem HF-Generator, der Ionenquelle, der Magnetron-Stromversorgung und der Vakuumeinheit verbunden. KOKUSAI Lambda 200IE ist mit einem Hochleistungs-HF-Generator und automatischem Matching ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Ätzrate und Gleichmäßigkeit ermöglichen. Der variable Lastverschlussansatz ermöglicht die Anpassung mehrerer Wafergrößen und Materialien. Darüber hinaus ermöglicht der Einsatz des Magnetron-Netzteils eine präzise Steuerung von Ätz- und Aschezeit, Temperatur und Druck. Die Maschine verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und mehrere Prozesskammern. Die beiden getrennten Kammern sind der Trocken- und Nassätzung gewidmet. Die Trockenätzkammer ist mit Ar und N2 zum Ätzen und subtraktiven Trockenätzen wie SF6 ausgestattet. Die Nassätzkammer ist mit DI-Wasser mit einem Temperaturbereich von 0-50 Grad Celsius ausgestattet. Durch präzise Regelung von Temperatur und Druck wird ein hochwertiges konformes Schichtätzen erreicht. Lambda 200IE verfügt auch über mehrere Konfigurationen, die für eine Vielzahl von Produktanwendungen geeignet sind. Beispielsweise kann das Werkzeug mit dem RIE/RIEC Adapter zum Tiefätzen verwendet werden. Das handliche Sondenmikroskop ist für die visuelle Inspektion von Probenstruktur und Gleichmäßigkeit verfügbar. KEM/KOKUSAI Lambda 200IE ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für die Halbleiter-Waferbearbeitung. Dieses Asset bietet eine präzise Kontrolle über viele Prozessvariablen mit einfach zu bedienenden Konfigurationen. Die beiden dedizierten Kammern bieten Ätz- und Aschefunktionen, bieten aber auch Temperatur- und Druckkontrolle für eine hochwertige konforme Schichtätzung.