Gebraucht LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 #9143213 zu verkaufen

LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 ist ein Ätzer/Ascher, der hauptsächlich für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieses Gerät ist ein voll ausgestattetes, Hochgeschwindigkeits-Produktionswerkzeug, das in einer Vielzahl plasmabasierter Prozesse kontinuierlich arbeiten kann. Es wurde entwickelt, um im tiefen reaktiven Ionenätzmodus (DRIE) und im STF-Modus (flache Grabenbildung) für eine Vielzahl von Anwendungen zu arbeiten, einschließlich Ätzen von Aluminium, Kupfer, Siliziumdioxid und organischen Materialien. 12123-1-D-00162104 Ätzer/Ascher hat eine Prozeßkammer von 20 „x 15“ Größe, wodurch eine Vielzahl verschiedener Ätz- und Ascheprozesse gleichzeitig durchgeführt werden können. Die Kammer ist mit einem Direktantriebsmotor ausgestattet und liefert einen präzisen Gasstrom, um hervorragende Ergebnisse und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Es verfügt über einen fortschrittlichen Prozesscontroller zur Konfiguration optimaler Prozessparameter und ist so konzipiert, dass er mit bestehenden Produktionsabläufen kompatibel ist. Das Gerät verwendet ein Dual-Pass-Design für eine effiziente Verarbeitung, mit dem sowohl Hochgeschwindigkeitsätzen als auch nachgeschaltetes Aschen in einem Durchgang erfolgen können.LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 Etcher/Asher wurde entwickelt, um eine überlegene Gleichmäßigkeit beim Ätzen zu gewährleisten und eine höhere Produktivität und Qualität in der Fertigung zu ermöglichen. Es hat die Fähigkeit, die Ätzrate sowohl über den Wafer als auch über die Ätzmaske zu steuern, was ein präzises Ätzen kritischer Schichten ermöglicht. Es verfügt auch über ein modernes Gasverteilungssystem, das gleichmäßig Gase verteilt, um einheitliche Folien auf gemusterten Eigenschaften zu gewährleisten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Schichten gleichmäßig abgeschieden werden, was einen stabilen Betrieb und eine zuverlässige Produktion ermöglicht. Das Gerät ist mit einem Alarmsystem ausgestattet und sorgt für Temperatur- und Drucküberwachungsalarme. Es verfügt auch über erweiterte Diagnosefunktionen, die helfen, mögliche Probleme in der Prozesskammer zu erkennen. LAM RESEARCH 12123 Ätzer/Ascher kann nahtlos in bestehende Produktionslinien integriert werden, und seine erweiterte Funktionalität kann genutzt werden, um eine breite Palette effizienter und kostengünstiger Verarbeitungsfunktionen bereitzustellen.