Gebraucht LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX #9237727 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX ist ein leistungsstarker, multifunktionaler Ätzer und Ascher, der für eine breite Palette von Materialien entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über die AED-Technologie (Automated Endpoint Detection) von LAM zur präzisen Ergebniskontrolle und bietet gleichzeitig höchste Flexibilität bei Strahl- und Rezepturparametern. Das System bietet vier unabhängige Resistquellen für effizientere und genauere Ergebnisse sowie Mehrfachwafer-Verarbeitungsfunktionen. Das Gerät bietet eine präzise Steuerung von Ätztiefe, Ätzrate, Ätzfläche und Reproduzierbarkeit von Verarbeitungsparametern sowie eine hervorragende Gleichmäßigkeit. Das Ätz- und Aschermaschinen-Tool ist für die Optimierung mehrerer Laufgeschwindigkeiten und Verarbeitungsgeschwindigkeiten konzipiert. Es verfügt über zwei unabhängige Reaktionskammern, eine E-Strahl-Einheit zur Probenmaterialentfernung und eine lastgesperrte Konfiguration, die mehrere Wafer gleichzeitig entladen und laden kann. Die Maschine verfügt außerdem über eine enge Temperatur- und Druckregelung sowie eine Reihe chemischer Gase, die den benutzerdefinierten Anforderungen entsprechen. 2300 e4 Flex EX bietet auch flexible Strahlkonfigurationen mit einer breiten Palette von Strahlströmen, die einen höheren Durchsatz und dickere Folien ermöglichen. Das Tool bietet auch eine breite Palette von konfigurierbaren Funktionen wie automatische Endpunkterkennung (AED), automatisierte Level Profiling (ALP), programmierbare Rezeptreinigungsroutinen und verschiedene Sensorschnittstellen zur Optimierung des Ätz- und Ascheprozesses. Darüber hinaus verfügt die Einheit über eine keramische Auskleidung für den Langzeitreinraumbetrieb. Die Schnittstellen des Asset sind benutzerfreundlich und einfach zu bedienen, was eine schnelle und genaue Parameterrücksetzung ermöglicht. Außerdem ist das Tool mit einem Echtzeit-Überwachungsmodell ausgestattet, das bei der Verfolgung des Fortschritts jedes Waferlaufs hilft. Das Gerät enthält einen bordeigenen Rezeptgenerator für die schnelle Rezepterstellung, und die integrierte Gasverwaltungsfunktion hilft bei der Überwachung der Gasnutzung. Zusätzlich kommt LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX mit einem RFID-Reader zur Rückverfolgbarkeit von Prozessdaten. Dieses effiziente und zuverlässige Ätz- und Ascherwerkzeug ist ideal für Anwender, die eine optimale Leistung in kurzen Laufzeiten benötigen. Es bietet effizienten Waferdurchsatz, Gleichmäßigkeit und genaue Ergebnisse bei minimalem Benutzereingriff. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einer geeigneten Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Halbleiter, MEMS, medizinische und LED-Geräteherstellung.