Gebraucht LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9172842 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo etcher/asher ist eine leistungsstarke, kompakte Ausrüstung, die für Anwendungen mit hohem Durchsatz entwickelt wurde, die präzises Ätzen, Aschen und andere Materialbearbeitung erfordern. Es bietet einstufiges Ätzen und Aschen sowie Ätz-/Aschekombinationen, die Zykluszeiten verkürzen und Gleichmäßigkeit gewährleisten. Dieses System verfügt über einen einstellbaren Wafer-zu-Substrat-Abstand, eine verbesserte Gasfähigkeit, ein „Gull Wing“ -Düsen-Design für erhöhten Durchsatz und Verfügbarkeit und eine Reihe integrierter Zyklusdiagnosen für eine schnelle Fehlerbehebung. Diese Maschine ist auch mit zwei integrierten Prozesskammern ausgestattet, von denen jede mit bis zu acht Wafern gleichzeitig arbeiten kann und maximale Aufgaben pro Stunde ermöglicht. Mit dieser Konfiguration können 2300 e5 Kiyo Ätzer/Ascher in Plasmaätzen, Plasmaaschen, exponierten Siliziumätzen und exponierten Oberflächenoxid-Ätzmodi arbeiten. Diese Einheit kann auch für High-End-thermische Oxidation und CVD-Prozesse eingesetzt werden - unter Verwendung von Stickstoff, Lachgas, Sauerstoff, Helium und anderen Gasen - und ist in der Lage, Prozesstemperaturen von bis zu 1150 Grad Celsius zu erreichen. LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo Ätzer/Ascher hat eine präzise gefertigte Metalloxid-Härtung für längere Produktlebensdauer und verbesserte Waferkantenretention. Die Härtungsoberfläche verbessert auch die Sicherheit, da ihre Konstruktion elektrische Entladungsprobleme verhindert. Diese Maschine verfügt über eine anpassbare Steueroberfläche mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und Selbstdiagnosefunktionen. Die GUI zeigt Echtzeit-Maschinenbedingungen an und ermöglicht es Anwendern, eine Vielzahl von Rezeptanpassungen für optimale Ergebnisse online durchzuführen. Diese Maschine besteht aus robusten Materialien, um maximale Betriebszeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, und ist so konstruiert, dass sie in jede Umgebung integriert wird - einschließlich manueller, halbautomatischer und vollautomatischer. Eine umfassende Palette von Optionen und Plug-and-Play-Komponenten machen es einfach, das Tool für jeden Prozess oder jede Anwendung anzupassen. Sein Design erleichtert zudem die einfache Wartung und kann um zusätzliche Teile und Zubehör erweitert werden, wie integrierte, automatisierte Diagnosealgorithmen, die Verbrauchsmaterialien und Hardware während der Verarbeitung steuern. Zusätzlich erfüllt 2300 e5 Kiyo Ätzer/Ascher die Umwelt- und Gesundheitsstandards.