Gebraucht LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9409252 zu verkaufen
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ID: 9409252
Poly etchers
Cassette, 12"
Chambers:
(2) KIYO45
(2) KIYO EX
Stripper
Platform type: E5
EFEM:
(3) TDK TAS300 Loadport, P/N: S2096-76
KAWASAKI 3NT510B-A002 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION 799-058309-003 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION 196635 TM Robot, P/N: 401600-594-0001
EDWARD EPX180N IPump, P/N: A419-42-212
(5) GE 605-109114-001 CPUs
(5) 605-707109-012 VIOPs
(5) ENGENUITY 810-046015-009
(2) 853-031727-007 Temperature control units
(4) 810-495659-304 ESC Power supplies
(4) 685-801852-015 OES
VoDM
MKS Revolution III remote plasma source, P/N: 685-045803R034
(4) ESC, P/N: 839-019090-374
Gas configuration:
Gas box type: IGS
(18) Gas lines
MFC:
HORIBA SEC-Z719MGX
HORIBA SEC2719JX
HORIBA D219-SCT
SAM 2480G1
(3) MKS He UPCs
Strip gas:
(3) HORIBA SEC-Z719MGX
Vacuum gauge:
(3) MKS E58B-31775 Process vacuum gauges, 0.1 Torr
(3) MKS E28B-30200 Chamber vacuum gauges, 1 Torr
(2) MKS B28D-30518 Fore line vacuum gauges, 10 Torr
MKS 28PS0063 TM Vacuum gauge, P/N: 109070019CE
MKS 901P-81050-0070 Airkock1 vacuum gauge
MKS 901P-81050-0070 Airlock2 vacuum gauge
ACATEL ATH2800M Turbo pump
ACATEL Mag Power Turbo pump controller
(2) EDWARD STP-XA2703CV Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1600 Turbo pump controllers
BIAS RF Generator, P/N: 660-063437R003
TCP RF Generator
(2) BIAS RF Generators
(2) TCP RF Generators, P/N: 660-088888-002
(4) BIAS RF Matchers, P/N: 832-038915-001
(4) TCP RF Matchers, P/N: 835-043759-004
(4) BIAS RF Cables
(4) TCP RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das speziell für die Ultratieftemperaturverarbeitung von Gerätesubstraten einschließlich Siliziumscheiben entwickelt wurde. Mit fortschrittlicher Plasmaphysik und Ausrüstungstechnik ist 2300 e5 Kiyo in der Lage, Temperaturen unter 10 Grad Celsius während des Ätz- und Ascheprozesses zu erreichen. Dies ermöglicht eine präzisere Kontrolle der Ätzergebnisse, die es Geräteentwicklern ermöglicht, Substratfehler vor der Herstellung genauer zu modellieren und vorherzusagen. LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo umfasst eine Reihe von verschiedenen Techniken, um genaues Ätzen zu erstellen. Die Kombination von Gas- und Plasmaabgabesystemen ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessumgebung, wodurch die Materialeigenschaften des Substrats nicht verändert werden. 2300 e5 Kiyo nutzt eine einzigartige hochfrequente lineare Plasmaquelle, um an seinem Quellpunkt hochenergetische Ionenbeschüsse zu erzeugen, die Äschen und Aschen mit extrem hoher Reinheit und Genauigkeit bereitstellen. Darüber hinaus sind die erweiterten Programmierfähigkeiten von LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo sehr vielseitig und können in einer Vielzahl von Verfahren wie Ätzen, Aschen, Abscheiden und Metallisieren verwendet werden. 2300 e5 Kiyo verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, darunter eine automatische Gasabschaltung bei Überdruck, eine automatische Abschaltung bei Überstrom und ein integriertes Drucküberwachungssystem, um sicherzustellen, dass die Prozessumgebung während des gesamten Herstellungsprozesses konsequent überwacht wird. Zusätzlich zu seinen beeindruckenden Verarbeitungsfunktionen ist LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo in der Lage, die Kosten zu senken und die Produktivität durch den Einsatz fortschrittlicher Robotik zu verbessern, was eine kontinuierliche Nonstop-Batch-Verarbeitung ermöglicht. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, mehr Geräte in kürzerer Zeit zu verarbeiten, was zu höheren Erträgen und schnelleren Durchlaufzeiten führt. Insgesamt ist 2300 e5 Kiyo ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der extrem präzise Ergebnisse in einer Reihe von ultra-niedrigen Temperaturprozessen liefert. Durch die Kombination aus fortschrittlicher Plasmaphysik, Gerätetechnik und Robotik ist LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für die Gerätebearbeitung und -herstellung.
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