Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9015441 zu verkaufen

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LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45
Verkauft
ID: 9015441
Chamber only, 12", 2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der hauptsächlich in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um sowohl das präzise Ätzen als auch das Ausrüsten winziger Funktionen mit automatisierter Werkzeugsteuerung und präziser Gleichmäßigkeit während des gesamten Prozesses zu ermöglichen. Der Exelan Flex 45 verfügt über die Flexibilität, eine Reihe von Substraten und Prozessen wie High-Aspect-Ratio-Funktionen, Wafer-Verdünnung und 45-Grad-Winkelätzanwendungen anzusprechen. Der Exelan Flex 45 verfügt über eine geschlossene Werkzeugarchitektur, die Plattform- und Prozesshardware mit einer Reihe von Vakuumpumpen, Lastschlössern und Quellmodulen integriert, die die Flexibilität bieten, den Prozess auf das gewünschte Ergebnis abzustimmen. Diese integrierte Hardware erhöht die Prozessgenauigkeit, senkt die Betriebskosten und sorgt für einen schnellen Waferdurchsatz. Der Ätzer/Ascher wird von einem eingebetteten Prozesscontroller gesteuert, der es dem Bediener ermöglicht, jeden Ätzprozess in Echtzeit mit einer grafischen Benutzeroberfläche zu überwachen. Die eingebettete Prozesssteuerung ermöglicht auch die vorprogrammierte Rezepteinrichtung und Prozesssteuerung sowie die Bereitstellung eines genauen, wiederholbaren Prozesses bei jeder Ausführung des Ätzrezepts. Der Exelan Flex 45 verfügt außerdem über ein fortschrittliches Ätzkammerdesign, das die Gleichmäßigkeit erhöht, die Waferreinigung während des Prozesses verbessert und die Kreuzkontamination minimiert. Die Vollplattform-Vakuumkonstruktion hilft, Partikeleinfälle zu minimieren und den Verlust wertvoller halogendatierter Ätzmittel zu reduzieren. Der Ätzer/Ascher ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einem Notabschalter, akustischen Alarmen und einem System mit geschlossener Architektur, das eine versehentliche Exposition gegenüber hohen Temperaturen oder chemischen Dämpfen verhindert. Diese Funktionen sorgen dafür, dass Bediener und Umstehende während des Betriebs sicher bleiben. 2300 Exelan Flex 45 ist der ideale Ätzer/Ascher für diejenigen, die nach erstklassiger Präzision und Wiederholbarkeit suchen. Mit einem integrierten Ätzkammerdesign und einer automatisierten Werkzeugsteuerung können Anwender darauf vertrauen, dass jede Ätzung genaue Ergebnisse liefert. Darüber hinaus können Anwender mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen sicher sein, dass ihre Betreiber und umstehenden Benutzer sicher und sicher gehalten werden.
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