Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9252457 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 ist ein Ätzer/Ascher, der überlegene Leistung und Stabilität in den heutigen hochintegrierten Geräteherstellungsprozessen der nächsten Generation bietet. Dieses Modell des Ätzers/Aschers ist in der Lage, große Substrate bis zu 45 Zoll Durchmesser mit höchster Genauigkeit und Präzision zu verarbeiten. Der 2300 Exelan Flex ist mit einer erweiterten Quellkammer ausgestattet, die für verschiedene Prozesse wie Nassätzen, Trockenätzen, Resiststreifen, Aschen und Einbetten-Ätzen konfiguriert werden kann. Die Kammer verfügt über eine Zweizonen-Wärmesteuerung, um einen gleichmäßigen und konsistenten Ätzdurchsatz sowie eine vollautomatische Be- und Entladevorrichtung für eine effiziente Verarbeitung zu gewährleisten. Die Kammer enthält auch gaußsche Photonenstrahlquellen für effizientes Ätzen, wodurch die Prozesszeit reduziert und die Ätzraten maximiert werden. Der 2300 Exelan Flex verfügt auch über eine Vielzahl von Prozesssteuerungsfunktionen für genaues und zuverlässiges Ätzen und Aschen. Dazu gehören HF- und DC-Leistungsregelung, Druckregelung, Substratvorspannung und einheitliche Temperaturregelung. Dieses fortgeschrittene System verfügt auch über eine Prozessüberwachungseinheit, die sicherstellt, dass der Ätz- oder Aschevorgang genau und konsistent durchgeführt wird. Der 2300 Exelan Flex beinhaltet auch eine automatische Ausrichtmaschine zur Positionierung des Wafers auf der Platte. Dieses Werkzeug ist in der Lage, eine Ausrichtgenauigkeit von weniger als 5µm ohne manuellen Eingriff zu erreichen. Darüber hinaus sorgt seine Drucksteuereinrichtung für eine gleichmäßige Druckabgabe am Wafer während des Ätz- oder Aschevorgangs. Der 2300 Exelan Flex beinhaltet auch mehrere fortschrittliche Sicherheitsmaßnahmen, wie das Dual-Isolation-Interlock-Modell, um die Sicherheit und Genauigkeit des Ätzprozesses zu gewährleisten. Es verfügt außerdem über eine Alarmüberwachungseinrichtung, die bei Prozessänderungen akustische Warnsignale sendet, so dass der Bediener das System schnell auswerten und entsprechend anpassen kann. Schließlich ermöglicht seine Remote-Service-Fähigkeit eine einfache und bequeme Wartung des Ätzers/Aschers. Insgesamt ist der 2300 Exelan Flex 45 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der überlegene Leistung und Stabilität für die Fertigung von Geräten der nächsten Generation bietet. Die fortschrittlichen Funktionen und Sicherheitsmaßnahmen gewährleisten eine sichere und zuverlässige Ätzung und Veraschung auf sichere, effiziente und kostengünstige Weise.