Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292910 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 ist ein Ätzer/Ascher mit einer On-Axis-Bearbeitungskammer mit Direktantrieb der Turbo-Molekularpumpe. Dieser Ätzer/Ascher bietet hohe Geschwindigkeit und präzise Steuerung des Ätzprozesses bei geringer Ausfallzeit und Prozessvariabilität. Das On-Axis Prozesskammerdesign ermöglicht gleichmäßiges und wiederholbares Plasmaätzen von Wafern auf allen Bereichen des Wafers gleichzeitig, was einen hohen Durchsatz und eine präzise Plasmagleichförmigkeit ermöglicht. Diese Kammer ermöglicht auch den direkten Antrieb der Turbo-Molekularpumpen-Baugruppe, die einen verbesserten Pumpwirkungsgrad bietet und zu deutlich geringeren Wartungsanforderungen führt. Dieser Ätzer/Ascher ermöglicht das Ätzen von Polysilizium, und die On-Axis-Bearbeitungskammer verfügt über einstellbare Merkmale, um die Feinabstimmung des Ätzprozesses zu erleichtern. Der leistungsstarke Generator des Exelan Flex 45 bietet eine präzise Steuerung der wichtigsten Ätzparameter wie Ätzleistung, Frequenz und Prozessdruck. Der Generator enthält auch eine hochreine entfernte Plasmaquelle (RPS) mit „geschlossenem“ Toroidmagneten, mit dem Verbindungen und Materialien selektiv geätzt werden können. Der Ätzer/Ascher umfasst zudem ein umfangreiches Spektrum an Sicherheitsmerkmalen mit Datenerfassungs- und Überwachungssystemen, die einen maximalen Nenndruck und eine maximale Kammertemperatur gewährleisten. Darüber hinaus verbessert die Closed-Loop-Systemregelungstechnologie des Exelan Flex 45 die Gleichmäßigkeit, Produktivität und Zuverlässigkeit der Wafer, indem sichergestellt wird, dass die Ätzparameter auf ihrem optimalen Niveau gehalten werden. Darüber hinaus bietet der Exelan Flex 45 ein breites Anwendungsspektrum für verschiedene Ätzprozesse. Es kann für verschiedene Ätzungen verwendet werden, wie chemisches Tiefätzen, Kontaktätzen, Ionenfräsen, reaktives Ionenätzen, Aschen und Entladungskammerätzen. Der Ätzer/Ascher ist auch mit einer hohen Temperaturfähigkeit von bis zu 450 ° C und einer speziellen lokalen Abgasanlage ausgelegt, die schädliche Prozessnebenprodukte wie Ozon, Sauerstoff und Stickstoff entfernen kann. Der Exelan Flex 45 ist kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen, einschließlich Argon, Helium, Wasserstoff und Stickstoff, und ist in der Lage, kleine und große Mengen von Gasen für seine Anwendungen zu handhaben. Der Exelan Flex 45 ist ein effizienter und vielseitiger Ätzer/Ascher, der wiederholbare Plasmaätz- und Ascheergebnisse liefert. Seine On-Axis Prozesskammerdesign und Closed-Loop Systemregulierungstechnologie maximieren Durchsatz und Wafer Gleichmäßigkeit bei gleichzeitiger Minimierung von Ausfallzeiten und Prozessvariabilität. Dieser Ätzer/Ascher ist ein ideales Werkzeug für eine Reihe von Ätzprozessen und sein breites Anwendungsspektrum und seine Sicherheitsmerkmale machen ihn zu einer wertvollen Ergänzung für jedes Labor.