Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293619655 zu verkaufen
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ID: 293619655
Wafergröße: 12"
Dielectric etcher, 12"
EFEM
AC Rack
VTM
(3) Gas boxes
GIB
(3) PM
(2) LP
Pallet: Cable and chiller hose
RPDB Rack
Process kit
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / - / Signal tower lamp assembly
(1) / 685-068190-004 / Gaille board
(1) / 685-068191-004 / Gap drive
(1) / 685-319860-001 / Iron server
(1) / 605-109114-001 / CPU Board
(1) / 857-019053-004 / ATM Robot
(1) / 799-000492-003 / VTM Robot body
(1) / - / VTM Robot arm
(1) / 810-066590-004 / Stepper board
(3) / 853-040482-600 / 3-Frequency matcher
(3) / 660-080455-300 / 2 Mhz Gen
(3) / 660-072825-200 / 27 Mhz Gen
(3) / 660-072826-200 / 60 Mhz Gen
(1) / 810-800256-207 / Node Board
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / 2/8 Add / OES Unit
(1) / 2/8 Add / APC Actuator board
(1) / 2/8 Add / V10P Board
(1) / 2/8 Add / LTC Board
(1) / 2/8 Add / VME Box (I/B+M/B).
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die Halbleiterherstellern eine zuverlässige und genaue Ätz- und Aschelösung bietet. Dieses System ist ein fortschrittliches, vollautomatisiertes Einzelwafer-Gerät, das mehrere Technologien verwendet, einschließlich Hot CVD, Plasmaätzen und Vakuumtechnologien. Das Gerät verfügt über eine große Kammer und viel Platz für erweiterte Wafer mit bis zu 300mm Durchmesser. Die Kammern sind mit inerten Gasen gefüllt und bieten eine sehr saubere Umgebung zum Ätzen und Aschen. Die Maschine verfügt über ein Präzisionsbewegungswerkzeug, das ein extrem genaues Ätzen und Aschen ermöglicht. Dieses Asset bietet auch vorprogrammierbare Ätz- und Ascherezepte, die eine präzise Prozesskontrolle ermöglichen und es dem Benutzer ermöglichen, Ätz- und Ascheparameter für exakte Ergebnisse anzupassen. Das Modell verfügt zudem über eine hohe inhärente Ätzqualität und Gleichmäßigkeiten, die zuverlässige und wiederholbare Prozesse ermöglichen. 2300 Exelan Flex EX + ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die Prozesssicherheit gewährleisten. Diese Sicherheitsfunktionen umfassen die automatische Beendigung von Ätz- und Ascheprozessen bei Überschreitung festgelegter Grenzwerte, die Temperaturüberwachung zur Vermeidung von Übertemperaturschäden und die Ergebnisdatenprotokollierung, wodurch der Benutzer alle prozessbezogenen Probleme schnell erkennen kann. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + eine ideale Ätz- und Aschelösung für die Halbleiterherstellung. Diese Ausrüstung ist zuverlässig und liefert aufgrund ihres Präzisionsbewegungssystems und vorprogrammierbarer Rezepturen hervorragende konsistente Ergebnisse. Seine Sicherheitsmerkmale gewährleisten auch Prozesssicherheit, indem sie mögliche Probleme vereiteln, bevor sie auftreten. Dieses Gerät ist eine zuverlässige, leistungsstarke Lösung für jeden Bedarf an Halbleiterätzen und -veraschen.
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