Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293641915 zu verkaufen
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ID: 293641915
Wafergröße: 12"
Etcher, 12"
Aligner
BROOKS Express load port
571-810321-10598 EFEM
BROOKS 138150 Robot
571-810320-10598 VTM
108000-37 VTM Robot magratran 7
101543506270005 AC Rack
108358 Robot controller
571-035344-10598 GIB
(3) Process Modules (PM)
853-243881-001 Generator cart
RPDB
Gas box:
Part number / Line / Description
571-033051-001 / 16 / IGS Gas box
571-033051-002 / 16 / IGS Gas box
571-033051-003 / 16 / IGS Gas box
Missing parts:
(2) Signal tower lamps
(3) 853-040482-600 Matchers
(3) 660-080455-300 Generators, 2MHz
(3) 660-072825-200 Generators, 27 MHz
(3) 660-072826-200 Generators, 60 MHz
(3) 628D-26910 CM1 BARATRON Manometers, 100 mT
(3) EI-R04M Turbo pump TMP-2804LMC Controllers.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + Etcher/Asher ist eine kompakte, aber leistungsstarke Maschine, die entwickelt wurde, um hervorragende Ergebnisse in einer Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen zu gewährleisten. Es ist ideal für eine Vielzahl von Produktions- und Forschungsanwendungen wie Gegendopingstudien und unser hocheffizientes Ionenstrahlsputterätzen. Der Ätzer ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die ihm maximale Leistung und Zuverlässigkeit ermöglichen. Das Gerät besteht aus einem Festgeschwindigkeits-Abgasgebläse, das einen sparsamen Betrieb gewährleistet, so dass das System für lange Produktionsläufe ohne die Gefahr von Beschädigungen von Komponenten arbeiten kann. Es ist mit einer Reihe von erweiterten Funktionen entworfen, die eine feine Kontrolle über Ätzrate und Gleichmäßigkeit ermöglichen. Die Exelan Flex EX + ist in der Lage, eine breite Palette von Ätzchemie, einschließlich Chlor, Brom, Fluor, Schwefel, Aluminium und Titan Ätzmittel. Die Einheit kann Metall-, Keramik- oder Polymersubstrate in einer Vielzahl von Größen, Formen und Dicken sicher verarbeiten. Die patentierte reaktoelektrische Reduktionsmaschine ermöglicht die Ätzbearbeitung mit bis zu sechs Waferbearbeitungsstellen. Das Werkzeug ist einfach zu bedienen und die perfekte Passform für Forschung, Einzellosfertigung und Chargenfertigung. Es bietet eine hervorragende Oberflächenqualität und Partikelkontrolle sowie eine hohe Gleichmäßigkeit über die gesamte Länge der Kammer. Die umfangreichen Sicherheitsmerkmale gewährleisten nicht nur die lange Lebensdauer der Anlage, sondern machen sie auch zu einem der sichersten Systeme von Ätzern/Aschermaschinen auf dem Markt. Der Exelan Flex EX + wurde für höchste Zuverlässigkeit entwickelt und liefert eine konstant zuverlässige Leistung und ist damit die ideale Lösung für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen. Das effiziente, platzsparende Design ermöglicht es, in eine Vielzahl von Labor- und Produktionseinstellungen zu passen. 2300 Exelan Flex EX + Etcher/Asher ist ein zuverlässiges Modell, das mit Sicherheit hervorragende Ergebnisse liefert.
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