Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293643636 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + ist ein hocheffizienter Ätzer/Ascher, der sowohl nasse als auch trockene Prozesse für eine Vielzahl von Anwendungen unterstützt. Es verfügt über eine robuste Anlagenarchitektur, um Produktivität und Durchsatz zu maximieren, und verbesserte Kühlfunktionen für überlegene Prozessgleichförmigkeit, insbesondere in trockenen Prozessen. 2300 Exelan Flex EX + ist mit einem proprietären Niederdruck-Gaseinspritzsystem auf Chlorbasis ausgestattet, das es Anwendern ermöglicht, Gaskonzentrationen im Vergleich zu herkömmlichen Ätzsystemen auf einem wesentlich niedrigeren Niveau zu nutzen. Dies, zusammen mit seiner überlegenen Temperaturgleichmäßigkeit, genau steuert Ätzraten über eine Reihe von Materialien, so dass es ideal für erweiterte Prozessintegration und Präzisionsätzanwendungen. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + verfügt auch über eine fortschrittliche Gerätearchitektur, die auf Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit und optimierte Prozesssteuerung ausgelegt ist. 2300 Exelan Flex EX + bietet auch erweiterte, flexible Designoptionen für unterschiedliche Substratgrößen und Geometrien. Die Dreizonen-Pumpenmaschine optimiert alle Anforderungen an die Substratgröße über alle Verarbeitungsmodule hinweg und bietet die perfekte Einheitlichkeit, Homogenität und technische Steuerung. Der einzigartige mehrachsige konfigurierbare Endeffektor ermöglicht eine zuverlässige, reibungslose Positionierung von Substraten im Zielmodul und ermöglicht eine präzise und wiederholbare Prozessausführung. In puncto Sicherheit kommt LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + mit einem fortschrittlichen Prozessmonitor, der eine korrekte Substratübertragung und genaue Prozesskontrolle gewährleistet. Es bietet auch verschiedene Feinabstimmungs- und Diagnosetools, um eine optimale Leistung und Prozesskonsistenz sowie eine Echtzeit-Prozessflussüberwachung zu gewährleisten, die eine Fehlerbehebung bei unerwarteten Problemen ermöglicht. Zusammenfassend ist 2300 Exelan Flex EX + ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der hervorragende Ätzfähigkeiten, eine robuste Werkzeugarchitektur, eine verbesserte Kühlung sowie flexible Designoptionen für verschiedene Substrate bietet. Es ist auf Präzision und Wiederholbarkeit von Ätzprozessen ausgelegt und verfügt über erweiterte Funktionen für mehr Prozesskontrolle und Sicherheit.