Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293609173 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX
ID: 293609173
Dielectric etcher.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die speziell für den Einsatz im Photomaskierbetrieb entwickelt wurde. Es integriert innovative Prozesssteuerungs- und Managementlösungen, um qualitativ hochwertige Ätzmuster zu erzeugen. Das System bietet Flexibilität bei Ätz- und Strippraten, hohe Selektivität und ausgezeichnete Prozessstabilität sowie hohe Produktivität. Damit eignet es sich für ein breites Anwendungsspektrum in den Segmenten Halbleiter, MEMS und Ausstellungstechnik. Das Gerät verwendet Laserstrahl, reaktives Ionenätzen (RIE) und plasmabasierte Ätzprozesse. 2300 Exelan Flex FX ist mit einer offenen Architektur konzipiert, mit der Benutzer die Ätzparameter und Prozessparameter anpassen können. Diese Maschine bietet hohe Reproduzierbarkeit, überlegene Selektivität und überlegene Ätzraten. Die in-situ Steuerungs- und Managementlösung ermöglicht es Anwendern, mehrere Prozesse gleichzeitig zu programmieren und zu steuern, wodurch Programmierzeit und -kosten reduziert werden. Darüber hinaus bietet es Echtzeit-Prozessinformationen für verbessertes Prozessverständnis und Korrekturmaßnahmen. Das Werkzeug ist mit einem ultrahochauflösenden 3D-Bildsensor für präzise Ätzmusterung und Prozesssteuerung ausgestattet. Es verfügt auch über eine konfigurierbare, Laser-Strahl Lieferung Asset für eine präzise Steuerung der Strahlleistung und Richtung. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX bietet eine automatische Prozesssteuerung, um optimale Ergebnisse bei allen Ätz- und Strippaufgaben zu gewährleisten. Der Ätzer ist mit einem patentierten hochzuverlässigen Tormodell und präzisen Heiz- und Kühlsystemen ausgelegt, um die gewünschte Temperatur während des Ätzprozesses zu halten. Darüber hinaus bietet 2300 Exelan Flex FX präzise Druck- und Durchflussregelungsmechanismen zur Optimierung von Ätzanwendungen und eine Reihe von Diagnosetools zur Überwachung der Prozessleistung. Das Steuermodul ermöglicht es Benutzern, Geräteparameter zu konfigurieren, um ein optimales Ätzprofil und optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Die hohe Selektivität und die optimalen Ätzraten ermöglichen eine schnelle Fertigstellung der Geräte. Das System ist auch mit Sicherheitsmerkmalen wie Verriegelungen, In-situ-Prozesssteuerung und Drucküberwachung ausgelegt, die die Bedienersicherheit jederzeit gewährleisten. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX eine hochentwickelte Ätzeinheit, die Anwendern eine präzise Steuerung, eine robuste und zuverlässige Prozesssteuerung, eine hohe Treue beim Ätzen und ein präzises Prozessmanagement bietet. Dies macht es zu einer idealen Wahl für Photomasking-Operationen und branchenführende Technologiesegmente.
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