Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293826277 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX + ist ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer für Produktionsanwendungen. Die Ausrüstung bietet hervorragende Produktivität, Flexibilität und Prozessskalierbarkeit für eine Reihe fortschrittlicher Prozessabläufe. Das System ist rotorlos, mit hohem Seitenverhältnis ausgebildet, mit einer uneingeschränkten und nicht stabilisierten Prozesskammer. Dieses Design gewährleistet eine wiederholbare, zuverlässige Ätzleistung unabhängig von der Substratgröße, Form oder Oberflächengüte. Das Gerät verfügt über fortschrittliche Steuerungstechnologie, einschließlich PID-adaptive Steuerung, die Präzisionskontrolle über Ätzparameteranpassung, große Prozesskammer Flexibilität und schnelle Prozessanlaufzeiten bietet. Darüber hinaus ist der Exelan Flex FX + für großflächige Wafer bis 300 mm ausgelegt. Der Exelan Flex FX + verfügt über ein optionales Prozessmodul zur erweiterten Prozessentwicklung, das eine Multi-Network Distributed Control Machine (MNDCS) und eine HiFlex Multifunktions-Benutzeroberfläche für beispiellose Steuerung und Zugriff auf alle Prozessparameter umfasst. Zusätzlich kann ein optionales Lastverriegelungswerkzeug (LLS) zur verbesserten Prozesssteuerung hinzugefügt werden, insbesondere wenn mehrere Substratgrößen ausgeführt werden. Das Asset bietet auch eine breite Palette von Ätzprofilen wie Cusp, E-Beam, V-Beam und Deep Graben, um nur einige zu nennen. Darüber hinaus ist das Modell kompatibel mit einer Vielzahl von Basisgasen, einschließlich Wasserstoff, Argon, Fluorkohlenwasserstoffe und Stickstoff, und eine Reihe von Prozeßchemie für eine optimale Ätzung jedes Materials. Darüber hinaus ist der Exelan Flex FX + so konzipiert, dass er in eine breite Palette bestehender und neuer Halbleiterproduktionssysteme integriert werden kann. Die Geräte können in Python Script-basierte Prozesse integriert werden und sind vollständig kompatibel mit den am häufigsten verwendeten programmierbaren Steuerungen (SPS). Insgesamt ist 2300 Exelan Flex FX + ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer mit überlegener Prozessskalierbarkeit, Prozessflexibilität und zuverlässiger Ätzleistung. Das System eignet sich für eine breite Palette fortschrittlicher Ätzprozesse und ist in der Lage, in jede bestehende Halbleiterproduktionseinheit zu integrieren.