Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9359417 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für die Herstellung mit hohem Durchsatz. Es bietet maximale Flexibilität für eine breite Palette kritischer Anwendungen wie Photovoltaik, Halbleiter, MEMS, Optoelektronik und andere Nanostrukturen. Mit diesem kostengünstigen System können mehrere Schichten verschiedener Materialien mit gleichbleibend hohen Ausbeuten geätzt werden. Darüber hinaus bietet sein einzigartiges Design eine hervorragende Gleichmäßigkeit beim Ätzen sowie eine hervorragende Reinigungsleistung. 2300 Exelan Flex FX bietet hervorragende Prozessflexibilität für Anwendungen, die eine wiederholbare, gleichmäßige Ätzung sowie einen hohen Chargendurchsatz erfordern. Das dynamische Gas Flow-Verfahren ermöglicht es, bis zu vier Schichten verschiedener Materialien gleichzeitig zu ätzen. Das mehrschichtige Ätzträgerelement ermöglicht auch das gleichzeitige Strukturieren und Ätzen verschiedener Materialien. Die hohe Präzision und Geschwindigkeit des Geräts erleichtern eine schnellere Durchlaufzeit für komplexe Muster, reduzierte Zykluszeit, bessere Gleichmäßigkeit der Ätzqualität und verbesserte Erträge. In Bezug auf die Ätzquelle kommt LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX mit einer High Energy Density Etch Source (HEDES) und einer breiten Palette von Prozessgasen, um verschiedene Arten von Ätzanwendungen zu unterstützen. Seine HEDES erzeugt hohe Energie und ermöglicht schnelle Ätzraten mit hoher Anisotropie. Es kommt auch mit einer fortschrittlichen thermischen Steuerung Maschine, die überlegene Kontrolle über erhöhte Temperatur für einen wiederholbaren Prozess bietet. 2300 Exelan Flex FX verfügt über eine erweiterte Sicherheitsfunktion, die einen sicheren Betrieb gewährleistet und Zellschäden durch versehentlichen Stromausfall verhindert. Seine erweiterten Überwachungsfunktionen ermöglichen es Benutzern auch, die individuelle Zellenleistung in Echtzeit zu beobachten und zu überwachen. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX umfasst auch erweiterte Diagnosefunktionen, die eine zuverlässige Ätzstabilität sowie eine Wiederholbarkeitsprüfung in mehreren Ätzschichten bieten. Darüber hinaus verfügt sein einzigartiges Kammerdesign über einen abnehmbaren Kammerboden, der eine einfache Reinigung und Wartung ermöglicht. Es ist auch mit leistungsstarken adaptiven Steuerungssystemen ausgestattet, die eine hervorragende Prozessgenauigkeit, Reproduzierbarkeit sowie Flexibilität bei der Anpassung an wechselnde Teilekonfigurationen ermöglichen. Insgesamt ist 2300 Exelan Flex FX ein ausgezeichnetes Ätz-/Ascherwerkzeug, das maximale Flexibilität und zuverlässige Ätzleistungen für eine Vielzahl kritischer Anwendungen bietet. Es bietet unübertroffene Leistungsmerkmale, Präzision und Sicherheit bei gleichzeitig überlegenen Erträgen und robuster Prozesseffizienz.