Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9375615 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX ist eine Ätz- und Aschemaschine für die industrielle Produktion von mikroelektronischen Komponenten. Es kann eine breite Palette von Wafergrößen aufnehmen, von den kleinsten (200mm) bis zu größeren (450mm) Waferformaten. Dieses System nutzt ein einzigartiges, selbstreinigendes Duschkopfdesign, das eine überlegene Reaktionsgleichmäßigkeit und schnellere Prozesszeiten ermöglicht. Dieses Design in Kombination mit der polyimidbeschichteten Waferplatte sorgt für eine geringe Partikelbildung. Der Exelan Flex FX verfügt über eine große Auswahl an Parametereinstellungen, darunter Ätzzeit und Druck sowie eine gleichmäßige Temperaturregelung. Es liefert sehr enge Toleranzen auf Ätztiefe und Gleichmäßigkeit, so dass die höchste Qualität ätzen und Aschen. Darüber hinaus ermöglicht die Einheit eine präzise Echtzeit-Anpassung der Prozessbedingungen, um Ätzergebnisse zu optimieren. Der Exelan Flex FX ist mit einer Handvoll fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Dazu gehört eine Reinigungsmaschine auf Wasserstoffperoxidbasis, die einen Aufbau an den Kammerwänden verhindert und Verschmutzungen verhindert. Es hat auch ein fortschrittliches Sicherheitswerkzeug für erhöhte Prozesssicherheit. Es beinhaltet eine Isolierkammer zur Trennung gefährlicher Prozessgase vom Rest der Anlage, die die Sicherheit des Personals in der Anlage gewährleistet. Darüber hinaus verfügt der Exelan Flex FX über eine Prozesswiederherstellungsfunktion, die dazu beiträgt, kontaminationsbedingte Ausfallzeiten zu minimieren. Schließlich ist der Exelan Flex FX für flexibles, prozessspezifisches Tuning ausgelegt. Mit diesem Modell können Benutzer die Ätzfolge anpassen, um die Ergebnisse bestimmter Prozesse zu optimieren. Dies hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren und den Ertrag zu erhöhen. Der Exelan Flex FX ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für die Großserienfertigung, das überlegene Ätz- und Ascheergebnisse mit engeren Gleichmäßigkeitstoleranzen liefert.