Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293675856 zu verkaufen

LAM 2300 Asher/Etcher ist ein Trockenprozess-Ascher/Ätzer, der für den Einsatz in Halbleiter- und verwandten Prozessoperationen entwickelt wurde. Es ist ideal für Prozesse, die niedrige Temperatur und niedrigen oder hohen Druck Sauerstoffplasma. Das fortschrittliche, funktionsreiche Design von 2300 umfasst einen integrierten Träger und eine Heizung, einen Doppelrotor, einen geschlossenen Massenstrom, eine integrierte Vakuumabscheidung und integrierte hocheffiziente Abgase. Die interne Heizung und das geschlossene Gasfördersystem von LAM 2300 ermöglichen die präzise Steuerung der Substratverarbeitungstemperaturen und die Gleichmäßigkeit der Profilregime. Die integrierte Doppelrotor-Massenstromeinheit sorgt dafür, dass Prozessgase während des gesamten Verarbeitungszyklus innerhalb sicherer Temperatur- und Druckparameter bleiben. Mit dem integrierten Vakuumabscheidungsmodul können Substrate mit einer Vielzahl von Materialien aus Metallen, Polymeren und Dünnschichtoxidschichten beschichtet werden. Das innovative Design von 2300 und die intuitive Steuerung haben es ermöglicht, zu einem der zuverlässigsten Konservierungsätzer/Ascher der Branche zu werden. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von Standard-Prozessrohren, mit einer Reihe von Größen und beheizten Plattengrößen verfügbar. LAM 2300 verfügt auch über ein modernes, hocheffizientes, hochintensives Auspuffwerkzeug zur effizienten Entfernung von Abgasnebenprodukten. Die Abgasanlage ermöglicht eine schnelle Modelleinrichtung und Druckerhaltung und minimiert gleichzeitig die Konzentration konzentrierter Dämpfe. 2300 bietet einen fokussierten Gasstrahl, der hilft, die Qualität der Ätzung und die Gleichmäßigkeit der Merkmale zu erhöhen. Die zweistufige variable Stromquelle am LAM 2300 bietet eine präzise Steuerung der Prozessparameter einschließlich Zeit, Druck, Gasverhältnis, Durchflussmenge und der spezifizierten Konzentration der Prozessgase. Diese Parameter können während des Prozesses beliebig variiert werden, was eine hervorragende Prozessqualität und Wiederholbarkeit ermöglicht. Darüber hinaus schützen die umfassenden, integrierten Sicherheitsfunktionen von 2300 Ihr Personal vor Risiken im Zusammenhang mit gefährlichen Prozessbedingungen.