Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293768859 zu verkaufen

ID: 293768859
Weinlese: 2007
Dielectric etcher Process: CuOx (3) Load ports EDWARDS iH600 Pump Gases: C4F6 He/O2 O2 CH2F2 C4F8 Ar CHF3 H2 N2 CF4 2007 vintage.
LAM 2300 ist eine automatisierte Ascher-/Ätzerkammerausrüstung, die von LAM Industrial Automation Inc. für industrielle Anwendungen entwickelt wurde, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf Halbleiterebene erfordern. Mit seiner einzigartigen Kombination aus hoher Zuverlässigkeit, niedrigen Kosten und Flexibilität ist 2300 eine perfekte Wahl für Forschung, Herstellung, Probenvorbereitung und eine breite Palette anderer industrieller Anwendungen. LAM 2300 ist um eine korrosionsbeständige Edelstahlkammer und ein Vakuumdrucksystem ausgelegt, das im Betrieb einen Druck von bis zu 30 psia aufrechterhalten kann. Das Gerät verfügt über einen hochwertigen Pulver- und Aggregatspeiser, eine separate beheizte Gaskammer, bis zu drei separate Reaktionszonen und eine leistungsstarke Reaktor-Recycling-Maschine. Der Speiser und die beheizte Gaskammer können über eine intuitive Bedienoberfläche präzise gesteuert werden, was präzisere Ätz- und Abscheidungsanwendungen ermöglicht. Die robuste Gefäßkonstruktion von 2300 ermöglicht eine Vielzahl von austauschbaren und abnehmbaren Prozesskammern, die eine breite Palette von kundenspezifischen Ätz- und Ablagerungsanwendungen ermöglichen. Das vielseitige Design der Reaktionskammern kann Dünnschichtverarbeitung, großflächige Abscheidung und chemische Oberflächenbehandlung aufnehmen, während das Reaktor-Recycling-Werkzeug einen flexiblen Chargen- oder Dauerbetrieb bietet. LAM 2300 ist auch mit Umweltüberwachungsfunktionen ausgestattet, die zur Gewährleistung der Prozesssicherheit verwendet werden können. Die integrierte Dual-Zone-Temperatur- und Druckregelung bietet eine präzise und sofortige Prozesssteuerung und die vollautomatisierte Software bietet einen Grad an Prozessüberwachung und -berichterstattung, der für eine konsistente und zuverlässige Leistung in den heutigen UHV-kompatiblen Abscheidungssystemen unerlässlich ist. 2300 bietet eine optimale Lösung für industrielle Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Sein kompaktes, effizientes Design macht es ideal für Situationen, in denen Raum und Leistung kritische Überlegungen sind, während seine Fähigkeit für kundenspezifische Anforderungen eine hohe Flexibilität in einem breiten Spektrum von Ätz- und Abscheidungsanwendungen ermöglicht. Der robuste Betrieb von LAM 2300, die breite Palette an Prozessfunktionen, die geringen Kosten und die schnelle Einrichtung machen es zu einer idealen Wahl für Anwendungen mit hoher Genauigkeit und wiederholter Verwendung.
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