Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9121960 zu verkaufen

LAM 2300 ist eine Zweikammer-Metall-Ätzausrüstung, die zum schnellen Ätzen von Vias und anderen kleinen Merkmalen in Halbleiter- und MEMS-Substraten verwendet wird. Es verfügt über eine Mehrzweckversion, die Komponenten enthält, die sowohl in Ätz- als auch Reinigungsprozessen verwendet werden. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätzprozessen durchzuführen, einschließlich Präzisions-Naßätzen, Trockenätzen, Fluorpolymerätzen und Magnetronsputtern. Diese Verfahren werden sowohl in der Einzelsubstratherstellung als auch in großem Maßstab bei der Herstellung von Substraten mit komplexeren Strukturen eingesetzt. Die Einheit umfasst zwei unabhängig voneinander gesteuerte Teilkammern, die jeweils eine nach unten gerichtete zylindrische Ätzkammer enthalten. Es ist in der Lage, bis zu 350 mm Wafer zu verarbeiten und verfügt über einen erhöhten und rotierenden Suszeptor, der die genaue Orientierung und Ätzung einer Vielzahl komplexer Strukturen ermöglicht. Für jede Teilkammer wird ein separates Kathoden-/Anodenpaar entweder bei Naßätz- oder Sputterprozessen verwendet. Die Maschine enthält ein Gasförderwerkzeug, das je nach verwendetem Verfahren zu einem extrem breiten Spektrum von Spezialgasen in der Lage ist. 2300 enthält auch eine leistungsstarke Nachbearbeitung reinigt Linie, so dass eine zusätzliche Verarbeitung nach dem Ätzprozess durchgeführt werden kann. Diese Linie ist in der Lage, sowohl aggressive als auch schonende Reinigungen durchzuführen, einschließlich der Verwendung von HF und SC-1 Lösungen. Das Asset ist auch in der Lage, sowohl langsame als auch schnelle Ätzungen durchzuführen, wodurch sehr kleine Funktionen präzise geätzt werden können. LAM 2300 verfügt auch über Touchpad-Bedienelemente und vorprogrammierte Rezepte, die eine schnelle und effiziente Bedienung ermöglichen. Insgesamt ist 2300 ein extrem effizientes und leistungsstarkes Metall-Ätzmodell, das für viele industrielle und wissenschaftliche Anwendungen eingesetzt wird. Seine einzigartigen Eigenschaften, wie seine zwei Teilkammern und Nachbearbeitungsreinigungslinie, ermöglichen ein schnelles und präzises Ätzen und Reinigen einer Vielzahl von Substraten und Strukturen. Als solches ist es ein leistungsfähiges Werkzeug, das für viele moderne Fertigungsanwendungen wesentlich ist.