Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9222733 zu verkaufen
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ID: 9222733
Wafergröße: 12"
Oxide etcher, 12"
AC Rack
Power control rack: AC Rack and P/C
(2) Exelan chambers
Gas module for (3) Exelan chambers
Parts
(3) Cable boxes
Vacuum transfer module:
Airlock: Right and left
TM / PM Facility line
Process module 1 and 2:
(2) Exelan chambers
VAT Pendulum value
Missing parts:
(2) BROOKS Load ports
ATM Robot
Wafer alignment
Wafer alignment module
VTM Robot
Turbo pump (ATH 1600M)
Turbo controller
RF System A/C power
Generator (TCP)
Generator (BIAS)
EFEM
MagnaTran 7
Loader
ESC
RF Cart.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist eine Etch/Asher-Ausrüstung, die von der LAM RESEARCH Corporation entworfen und hergestellt wurde. Es ist ein vollautomatisches System, das Wafer bis 200 mm Durchmesser verarbeiten kann. Das Gerät verwendet ein Einwafer-Prozessmodul und eine kammergeheizte chemische Dampffördermaschine. 2300 Exelan Werkzeug ist effizient und zuverlässig und eignet sich für die Bearbeitung einer Reihe von Wafern mit verschiedenen Größen und Strukturen. Seine Kammer verfügt über eine einstellbare Temperaturregelung, die auf oder ab 15 ° C eingestellt werden kann, so dass präzise und wiederholbare Verarbeitungsergebnisse möglich sind. Es verfügt auch über integrierte Konstruktionsmerkmale, die die Gleichmäßigkeit verbessern, die Präzision erhöhen und Schäden an Wafern minimieren. LAM RESEARCH 2300 Exelan Etch/Asher Asset hat einen Prozessdruck von bis zu 760 mTorr und kann bei Temperaturen von 70 ° C bis 350 ° C arbeiten. Es ist mit einem Transportverfahren zur Übertragung von Wafern und einem Shaker ausgestattet, um die Chip-Gleichmäßigkeit durch schnell wechselnde Gastemperaturen zu reduzieren. Das Modell verfügt außerdem über einen staubarmen Filter, der zur Erfassung von Staubpartikeln während der Waferbearbeitung verwendet wird. Darüber hinaus verfügt seine Lastschloßtür über eine vakuumdichte Dichtung sowie eine erweiterte Sicherheitsfunktion, die sicherstellt, dass keine Verunreinigungen in das Gerät gelangen oder Schäden verursachen. 2300 Exelan-System ist auch mit einer erweiterten Profilierungseinheit ausgestattet, mit der Benutzer die Profilleistung optimieren und die Wiederholbarkeit erhöhen können. Die Maschine verfügt über eine leistungsstarke Software-Schnittstelle, mit der Benutzer Parameter steuern und Daten überwachen können, sowie über eine benutzerfreundliche, intuitive grafische Benutzeroberfläche für die Bedienung. LAM RESEARCH 2300 Exelan ist eine ideale Lösung für das Hochdurchsatz-Ätzen/Aschen einer breiten Palette von Materialien, darunter Si, GaAs, Ti, multikristallines und amorphes Silizium. Es ist mit Blick auf Haltbarkeit und Flexibilität konzipiert und ist eines der beliebtesten und zuverlässigsten Ätz-/Aschesysteme auf dem Markt heute.
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