Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9003988
Flex etch system, 8"
(3) Chambers
2300 Ver 2.0 Mainframe
Robot CDM
Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft
Loaders included
Cassette Interface:
(3x) Open Cassette
25 Slot Input Buffer Station
User Interface:
Front Mount
Side
(3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers:
Kalrez O-rings
PM ISO Valve (Chemraz Rocker V)
Dual Chiller
New Heater for IGS Gases
Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft
Quick Clean Kit
Service Tool Kit
Gas Box:
(9) Gas line Config (IGS)
(1) Additional Gas line IGS)
Heated Gas line Package
Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules)
Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300)
Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm)
1 SZ313 C4F8 50
2 SZ313 NSR 50
3 SZ313 Ar 1000
4 SZ313 O2 200
5 SZ313 CO 200
6 SZ313 CF4 200
7 SZ313 H2 500
8 SZ313 CH2F2 50
9 SZ313 O2 3000
10 SZ313 N2 1000
11 SZ313 CHF3 100
12 SZ313 O2 20
RPDB for Dual Channel
Pump Exhaust Dilution Box
Options:
System UPS Support
GFI CBs
System Calibration & Alignment Kit
Signal Light Tower (R-A-G-B-C)
200mm Signal Lamp Tower
Mini Environment Air Intake
Software:
APC Recipe Tuning
2nd HSMS(Fab Common) Support
De-installed
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist eine fortschrittliche, hochpräzise Plasmaätzausrüstung, die zur Erzeugung hochwertiger, komplizierter Muster auf der Oberfläche von Materialien wie Silizium und Glas verwendet wird. Das System ist so konzipiert, dass es eine präzise Kontrolle über den Ätzprozess bietet, wodurch sehr komplizierte Muster mit minimalen Kanteneffekten erzeugt werden können. Die Exelan-Einheit ist mit einer fortschrittlichen Bildverarbeitungsmaschine und integrierter Mustersteuerung ausgestattet, die eine präzise Mustersteuerung ermöglicht. Das Abbildungswerkzeug erfasst Bilder des Substrats, mit denen dann sowohl der Ort der Ätzung als auch die Menge des zu entfernenden Materials gesteuert wird. Das Gerät ist außerdem mit einem Leistungsregler ausgestattet, der es dem Modell ermöglicht, die Leistung während des Ätzens genau anzupassen und sicherzustellen, dass das Material innerhalb der gewünschten Parameter geätzt wird. Das Gerät wird über Software programmiert, so dass der Benutzer seine Ätzmuster mit einer intuitiven Benutzeroberfläche anpassen kann. Das System verfügt auch über eine erweiterte Abfragesprache, die eine automatisierte Datenauswertung ermöglicht. Mit dieser Funktion können Benutzer die Ätzmuster schnell analysieren und den Ätzprozess in Echtzeit anpassen. Die Exelan-Einheit ist für den Einsatz in der Halbleiterproduktion konzipiert und bietet höchste Genauigkeit für komplizierte Muster auf Silizium- und Glassubstraten. Die Maschine wurde äußerst zuverlässig konzipiert und bietet eine geringe Ausfallrate bei minimalen Ausfallzeiten. Das fortschrittliche Bildgebungstool, die präzise Leistungssteuerung und die erweiterte Abfragesprache ermöglichen es dem Benutzer, präzise Radierungen schnell und mit großer Genauigkeit zu erstellen.
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