Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 zu verkaufen

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ID: 9003988
Flex etch system, 8" (3) Chambers 2300 Ver 2.0 Mainframe Robot CDM Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft Loaders included Cassette Interface: (3x) Open Cassette 25 Slot Input Buffer Station User Interface: Front Mount Side (3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers: Kalrez O-rings PM ISO Valve (Chemraz Rocker V) Dual Chiller New Heater for IGS Gases Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft Quick Clean Kit Service Tool Kit Gas Box: (9) Gas line Config (IGS) (1) Additional Gas line IGS) Heated Gas line Package Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules) Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300) Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm) 1 SZ313 C4F8 50 2 SZ313 NSR 50 3 SZ313 Ar 1000 4 SZ313 O2 200 5 SZ313 CO 200 6 SZ313 CF4 200 7 SZ313 H2 500 8 SZ313 CH2F2 50 9 SZ313 O2 3000 10 SZ313 N2 1000 11 SZ313 CHF3 100 12 SZ313 O2 20 RPDB for Dual Channel Pump Exhaust Dilution Box Options: System UPS Support GFI CBs System Calibration & Alignment Kit Signal Light Tower (R-A-G-B-C) 200mm Signal Lamp Tower Mini Environment Air Intake Software: APC Recipe Tuning 2nd HSMS(Fab Common) Support De-installed 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist eine fortschrittliche, hochpräzise Plasmaätzausrüstung, die zur Erzeugung hochwertiger, komplizierter Muster auf der Oberfläche von Materialien wie Silizium und Glas verwendet wird. Das System ist so konzipiert, dass es eine präzise Kontrolle über den Ätzprozess bietet, wodurch sehr komplizierte Muster mit minimalen Kanteneffekten erzeugt werden können. Die Exelan-Einheit ist mit einer fortschrittlichen Bildverarbeitungsmaschine und integrierter Mustersteuerung ausgestattet, die eine präzise Mustersteuerung ermöglicht. Das Abbildungswerkzeug erfasst Bilder des Substrats, mit denen dann sowohl der Ort der Ätzung als auch die Menge des zu entfernenden Materials gesteuert wird. Das Gerät ist außerdem mit einem Leistungsregler ausgestattet, der es dem Modell ermöglicht, die Leistung während des Ätzens genau anzupassen und sicherzustellen, dass das Material innerhalb der gewünschten Parameter geätzt wird. Das Gerät wird über Software programmiert, so dass der Benutzer seine Ätzmuster mit einer intuitiven Benutzeroberfläche anpassen kann. Das System verfügt auch über eine erweiterte Abfragesprache, die eine automatisierte Datenauswertung ermöglicht. Mit dieser Funktion können Benutzer die Ätzmuster schnell analysieren und den Ätzprozess in Echtzeit anpassen. Die Exelan-Einheit ist für den Einsatz in der Halbleiterproduktion konzipiert und bietet höchste Genauigkeit für komplizierte Muster auf Silizium- und Glassubstraten. Die Maschine wurde äußerst zuverlässig konzipiert und bietet eine geringe Ausfallrate bei minimalen Ausfallzeiten. Das fortschrittliche Bildgebungstool, die präzise Leistungssteuerung und die erweiterte Abfragesprache ermöglichen es dem Benutzer, präzise Radierungen schnell und mit großer Genauigkeit zu erstellen.
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