Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan #9054659 zu verkaufen
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ID: 9054659
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side & front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS/ GEM
Platform type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM Stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config LAM supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascherausrüstung, die für eine breite Palette fortschrittlicher Prozessanforderungen entwickelt wurde. Es ist eine Multi-Tool-Plattform, die modular und skalierbar ist, um die Anforderungen einer Vielzahl von Prozessanwendungen zu erfüllen. Der Exelan bietet eine breite Palette von konfigurierbaren Parametern und Optionen, um eine hervorragende Leistung auf kleiner Fläche zu bieten. Das System ist mit fortschrittlichen Technologien wie einer fortschrittlichen Magnetronquelle, einer integrierten Supporteinheit mit Echtzeit-Feedback-Maschine und erweiterten Wafer-Tracking- und Transfer-Funktionen ausgestattet. Die integrierte, fortschrittliche Magnetronquelle mit ihrem breiten Spektrum an Leistungsstufen, Frequenzen und Gasen bietet überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit für alle Anwendungen. Die Konfigurationsflexibilität des Exelan ermöglicht es Kunden, ihren eigenen Anpassungsgrad zu wählen, um ihren speziellen Anforderungen am besten gerecht zu werden. Das mitgelieferte Echtzeit-Feedback-Tool bietet eine Regelung mit geschlossenem Regelkreis und ermöglicht präzise punktgenaue Rezepte, die leicht geändert und auf das gesamte Werkzeug angewendet werden können. 2300 Exelan verfügt über erweiterte Wafer-Verfolgungs- und Übertragungsfunktionen, die Präzisionsausrichtungs-, Positionierungs- und Verschiebungssensoren sowie ausgefeilte Software-Algorithmen kombinieren, um eine unübertroffene Prozesskontrolle und Produktivität zu erreichen. Diese umfangreiche Produktpalette sowie die integrierten Hardware-, Software- und Kommunikationsmöglichkeiten bilden die Grundlage für eine fortschrittliche, voll produktionsbereite Ätzplattform, die robust und zuverlässig ist. Der Exelan kann auch Remote-Support über die Standard-Ethernet-Verbindung für Überwachung, Diagnose und Upgrades bereitstellen. Mit diesem Asset können Kunden ihre Softwareumgebung flexibel an ihre spezifischen Anforderungen anpassen. LAM RESEARCH 2300 Exelan bietet eine fortschrittliche, voll ausgestattete Plattform und die Flexibilität, eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Sein modularer Aufbau ermöglicht Skalierbarkeit und Konfigurierbarkeit, während sein proprietäres Steuerungsmodell präzise und wiederholbare Prozesse ermöglicht. Diese benutzerfreundliche Plattform kann problemlos auf zukünftige Bedürfnisse aufgewertet und in bestehende Produktionslinien integriert werden. Mit seiner fortschrittlichen Magnetronquelle, integrierter Unterstützungsausrüstung und Wafer-Tracking- und Transferfunktionen ist der Exelan eine ideale Wahl für jede Prozessanforderung.
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