Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan #9083803 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan ist ein technologisch fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der speziell für die Serienproduktion von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Der Exelan ist in der Lage, bei hohen Geschwindigkeiten zu ätzen und zu aschen und gleichzeitig äußerst präzise Ergebnisse zu erzielen. Der einzigartige halbwässrige chemische Prozess sorgt für eine gleichmäßige Struktur und Oberflächenqualität. Das Gerät ist in der Lage, Hochdurchsatz-Ätzen und Aschen von Silizium-Wafern durchzuführen, und kann maximal drei 200-mm (8-Zoll) Wafer gleichzeitig behandeln. Der Exelan verfügt über erweiterte Prozesssteuerungs- und Integrationsmöglichkeiten für prozessautomatisierte Abläufe. Sein hochpräzises optisches Weißlichtsystem ermöglicht es dem Gerät, das Ätzen und Aschen mit Präzision und Genauigkeit durchzuführen. Seine fortschrittliche Automatisierungsmaschine bietet eine lokalisierte und flexible Steuerungsstrategie, die eine gleichzeitige Steuerung verschiedener Prozessparameter ermöglicht. Der integrierte Roboterarm minimiert die Zykluszeit und liefert wiederholbare Ergebnisse. Die Softwaresteuerungen der Maschine bieten eine komplette Palette von Prozesssteuerungs- und Integrationskapazitäten. Sie umfassen eine breite Palette von Variablen wie hochpräzise optische Registrierungssysteme, automatische Stabilisierungssteuerungssysteme, Präzisionswaferorientierungssysteme und integrierte Roboterarme. Das Tool ist mit einer umfangreichen Rezepturbibliothek ausgestattet, auf die für Anwendungen mit ähnlichen Bearbeitungsanforderungen zugegriffen und wiederverwendet werden kann. Der Exelan bietet zudem eine umfassende Palette von Prozess-, Diagnose- und Datenanalysefunktionen. Das Asset verfügt über einen Prozess-Minirobot mit automatischem Be- und Entladen von Wafern. Zusätzlich verfügt das Modell über eingebaute Diagnosewerkzeuge, die eine Überwachung und Analyse des Ätz- und Ascheprozesses ermöglichen. Darüber hinaus bietet die Anlage Prozesssteuerungssoftware an, mit der Ingenieure ihre Prozesse auf optimale Leistung und Effizienz abstimmen können. Der modulare Aufbau des Exelan ermöglicht die Anpassung an zusätzliche Funktionen wie Stickstoffinertisierungssysteme, Rezirkulationssysteme und zusätzliche chemische Liefersysteme. Das System entspricht verschiedenen Sicherheits- und Umweltstandards und hat verschiedene Sicherheitskontrollen in verschiedenen Prüfverfahren bestanden. Die Einheit trägt nachweislich zur Senkung der Betriebskosten bei und bietet niedrige Gesamtbetriebskosten. Insgesamt ist 2300 Exelan eine fortschrittliche Maschine, die für Hochleistungs-Ätz- und -Ashing-Aufgaben geeignet ist. Das Werkzeug ist ideal für Serienanwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, da es zeit- und kosteneffiziente Operationen ermöglicht. Die integrierten Prozesssteuerungs- und Automatisierungsfunktionen des Asset bieten eine konsistente und wiederholbare Leistung, während das breite Spektrum an Prozess-, Diagnose- und Datenanalysefunktionen für Prozessoptimierung und -effizienz sorgt.