Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan #9205123 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan
ID: 9205123
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Oxide etcher, 12" 2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist ein Ätz- und Ascherkombinationswerkzeug, das eine Mehrkammerausrüstung mit integriertem Dreikammerdesign ist, das speziell für Prozessverbesserung und Wiederholbarkeit entwickelt wurde. Das System ist gut ausgestattet, um eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanforderungen zu bewältigen und bietet hervorragende Präzisionsätz- und Aschevorgänge mit wiederholbaren Ergebnissen über mehrere Zyklen. 2300 Exelan bietet durch seine fortschrittlichen, unabhängigen Kammersteuerungen und die integrierte Kühleinheit überlegene Steuerungs- und Prozessfähigkeiten sowie ein großes Prozessfenster. Darüber hinaus hilft die integrierte Handschuhbox bei der Aufrechterhaltung der Verarbeitungssauberkeit für hochwertige kritische Anweisungen. Diese Kontrollen sorgen dafür, dass jedes Mal ein perfektes Ätzen und Aschen erreicht wird. LAM RESEARCH 2300 Exelan verwendet auch mehrstufige Prozessrezepte, um ein Höchstmaß an Ätzwiederholbarkeit und -verfügbarkeit zu ermöglichen und so die effektivsten Ätzergebnisse zu gewährleisten. Dieses Kombinationswerkzeug bietet auch automatisches Rohrschalten, konfigurierte Substratbelastung und integrierte Trägerbelastung, was einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Produktivität ermöglicht. 2300 Exelan ist mit fortschrittlichen Sicherheits- und Umweltschutzsystemen ausgestattet, die den perfekten Reinraumbetrieb sowie die Sicherheit der Benutzer aufrechterhalten. Alle Prozessgase, Abgase und Gefahrstoffe werden automatisch durch die integrierten Wasch- und Filtersysteme der Maschine geleitet. Das Werkzeug wird auch mit mehreren Arbeitsablaufkonfigurationen geliefert, die die Flexibilität bieten, eine Vielzahl von Prozessen aufzunehmen. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 Exelan ein ausgezeichnetes Ätz- und Aschewerkzeug, das außergewöhnliche Funktionen mit hervorragender Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Mit integrierten Sicherheitssystemen, umfassenden Steuerungsfunktionen und mehrfacher Arbeitsflusskonfiguration eignet sich dieses Tool für eine Vielzahl von Anwendungen und eignet sich somit perfekt für alle Arten von Ätz- und Ascheprozessen.
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