Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Exelan #9298287 zu verkaufen
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ID: 9298287
Wafergröße: 12"
Dielectric etcher, 12"
Process: KIYO_EXEL_CU
Chambers
V2 Mainframe
(3) Load ports
Chemicals / Gases:
Chamber positions 1, 2, 3 and 4: C4F8, CF4, Ar, H2, CHF3, CH2F2, C4F6, 30%O2He
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power: 208 AC, 3 Phase, 400 A.
LAM RESEARCH 2300 Exelan ist ein Ätz-/Aspirationssystem, das mit Plasma- oder Gasätzen organisches Material auf Halbleiterscheiben strukturiert und verarbeitet. Dieses System wird bei der Herstellung integrierter Schaltungen, insbesondere für die erweiterten Speicheranwendungen, eingesetzt. Es verfügt über eine Multi-Gun-Source-Konfiguration und ist eine ausgezeichnete Wahl für konformes Ätzen. 2300 Exelan wurde mit einer Acht-Kammer-Konfiguration konstruiert. Es ermöglicht es, sehr gleichmäßige geätzte Schichten bereitzustellen, die für hochwertige ICs benötigt werden. Es ist auch mit einer erweiterten Ätzfähigkeit ausgelegt, die es ermöglicht, Plasma auf Submikronspiegel zu erzeugen. Diese Ätzfähigkeit ist für die Herstellung fortgeschrittener Speicheranwendungen unerlässlich. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH 2300 Exelan über eine höhere Durchsatzfähigkeit, so dass es bis zu 80 Wafer pro Stunde verarbeiten kann. 2300 Exelan ist mit fortschrittlichen Niederfrequenz-Plasma (LFP) -Generatoren ausgestattet, die es ermöglichen, Steuerung Ätzungen über einen weiten Bereich von Tiefen durchzuführen. Es verfügt auch über innovative Steuerungsprozesse wie Totaldruckabstimmung und Temperaturregelung, die eine präzise Ätzung gewährleisten. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH 2300 Exelan mit einer automatisierten Quelldruckregelung ausgestattet, die dem Anwender die Flexibilität bietet, Quelldrücke für verschiedene Substrate einzustellen. 2300 Exelan enthält auch eine Reihe von Sensoren, die die Prozessparameter perfekt überwachen und dem Benutzer offene Rückkopplungsschleifen zur Steuerung des Ätzprozesses zur Verfügung stellen. Als Teil seines fortschrittlichen Designs enthält LAM RESEARCH 2300 Exelan auch einen hochentwickelten Algorithmus, der jeden Zyklus optimiert. Dies trägt zur Verbesserung der Ätzrate bei Gleichmäßigkeit und Genauigkeit des fertigen Produkts bei. Insgesamt ist 2300 Exelan eine ausgezeichnete Wahl für das konforme Ätzen von empfindlichen Substraten. Dank seines hohen Durchsatzes, fortschrittlicher Techniken und seiner Flexibilität ist es gut an die strengen Anforderungen moderner Speicheranwendungen angepasst. Mit seiner Multi-Gun-Konfiguration, präziser Steuerung und hervorragender Genauigkeit ist LAM RESEARCH 2300 Exelan eine ausgezeichnete Option für jeden Ihrer Ätz-/Aspirationsbedürfnisse.
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