Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239 zu verkaufen

ID: 293640239
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Etcher, 12" RF Match Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve EDWARDS STP-A2203C3 PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve Manometer: CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr CM2: 625A-14059 Range 10 Torr CM3: 6254-14059 Range 10 Torr AC Enclosure Anapaizer board DC Enclosure power supply VME Enclosure CPU VME 7671 Lon control board VIOP Board step driver Lonworks IP Server RF Feed line ESC Power supply OES Cable (3) Noad boards Helium MFC Photon controller Capacitor control board Interlock board SCU-1600 TMP Controller 2 MHz, 5000 W Generator 27 MHz, 3000 W Generator 60 MHz, 2500 W Generator EFEM: BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR) Aligner Buffer Cool station Missing pump Terminal server OHT Sensor node board AGV Node board Ethernet server UI Panel AC Rack: BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R) UPS Power supply Hard Disk Drive (HDD) Missing PC Monitor Circuit breaker Load port: BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32) LP1 LP2 LP3 VTM: L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2) Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS) Pressure gauge: AL1, AL2, TM Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4 Magnatran7 VTM ROBOT Solenoid valve VTM Motherboard Node board Super slot board GIB Gas box: V2 (IGS Type) Damper No FIB Gas line: PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12 PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12 PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12 Missing parts: Hard Disk Drive (HDD) EFEM Pump 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist ein Ätzer/Ascher der fortschrittlichen Generation, der von einem der besten Halbleiterhersteller der Branche hergestellt wird. 2300 Flex 45 wurde entwickelt, um ein präzises und zuverlässiges Ätzen von Wafern mit Silikon, Germanium, Galliumarsenid und anderen Materialien zu ermöglichen. Dieser Teil der LAM RESEARCH Produktlinie ist für Anwendungen konzipiert, bei denen qualitativ hochwertige Ergebnisse und hohe Produktivität unerlässlich sind. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 hat eine große Kapazität von bis zu 45 Wafern pro Kammer und ist mit separaten Pods für Ätz- und Ascheanwendungen hochgradig konfigurierbar. Der Ätzprozess wird durch eine leistungsstarke Steuereinheit gesteuert, die eine Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet, die von anderen Systemen nicht verfügbar ist. Zur präzisen Steuerung verwendet 2300 Flex 45 eine patentierte Vision-Ausrüstung, die das Muster im Wafer scannt, um präzise Ätzergebnisse zu liefern. Die Abscheidekammer von LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist in der Lage, Geschwindigkeiten, Substrattemperaturen und Druck zu steuern, um Beschichtungen mit überlegener Gleichmäßigkeit und Ausbeute zu schaffen. Dieses System ist bekannt für seine robuste Bauweise, die nicht nur ein ertragsstarkes Ätzen ermöglicht, sondern auch schnelle Prozessdurchlaufzeiten und minimale Ausfallzeiten zwischen jedem Prozess ermöglicht. Die Konstruktion dieser Einheit ermöglicht auch die Arbeit mit Hochtemperaturmaterialien, sowie Niedertemperaturmaterialien. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine optimierte Kammerkonstruktion, die eine gleichmäßige Gasverteilung und eine Verringerung der Prozesstemperaturgradienten gewährleistet. 2300 Flex 45 Maschine kann auch mit einer optionalen Kryoätzeinheit konfiguriert werden, die dem Ätzprozess ein kryogenes Element hinzufügt. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist ein erstklassiger Ätzer/Ascher in der Halbleiterindustrie und eine ideale Wahl für Anwendungen, die ein extrem robustes und zuverlässiges Werkzeug benötigen. 2300 Flex 45 verfügt über eine breite Palette von leistungsstarken Funktionen, um einheitliche, wiederholbare und ertragsstarke Beschichtungen zu schaffen und gleichzeitig hohe Prozessraten und Betriebstemperaturen zu erhalten. Für jede Halbleiteranwendung, die ein hochpräzises Ätzen und Aschen erfordert, ist LAM RESEARCH 2300 Flex 45 eine ausgezeichnete Wahl.
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