Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293640239
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Etcher, 12"
RF Match
Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve
EDWARDS STP-A2203C3
PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve
Manometer:
CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr
CM2: 625A-14059 Range 10 Torr
CM3: 6254-14059 Range 10 Torr
AC Enclosure
Anapaizer board
DC Enclosure power supply
VME Enclosure
CPU VME 7671
Lon control board
VIOP Board step driver
Lonworks IP Server
RF Feed line
ESC Power supply
OES Cable
(3) Noad boards
Helium MFC
Photon controller
Capacitor control board
Interlock board
SCU-1600 TMP Controller
2 MHz, 5000 W Generator
27 MHz, 3000 W Generator
60 MHz, 2500 W Generator
EFEM:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR)
Aligner
Buffer
Cool station
Missing pump
Terminal server
OHT Sensor node board
AGV Node board
Ethernet server
UI Panel
AC Rack:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R)
UPS Power supply
Hard Disk Drive (HDD) Missing
PC
Monitor
Circuit breaker
Load port:
BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32)
LP1
LP2
LP3
VTM:
L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2)
Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS)
Pressure gauge: AL1, AL2, TM
Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4
Magnatran7 VTM ROBOT
Solenoid valve
VTM Motherboard
Node board
Super slot board
GIB Gas box:
V2 (IGS Type)
Damper
No FIB
Gas line:
PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12
PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12
PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
EFEM Pump
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist ein Ätzer/Ascher der fortschrittlichen Generation, der von einem der besten Halbleiterhersteller der Branche hergestellt wird. 2300 Flex 45 wurde entwickelt, um ein präzises und zuverlässiges Ätzen von Wafern mit Silikon, Germanium, Galliumarsenid und anderen Materialien zu ermöglichen. Dieser Teil der LAM RESEARCH Produktlinie ist für Anwendungen konzipiert, bei denen qualitativ hochwertige Ergebnisse und hohe Produktivität unerlässlich sind. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 hat eine große Kapazität von bis zu 45 Wafern pro Kammer und ist mit separaten Pods für Ätz- und Ascheanwendungen hochgradig konfigurierbar. Der Ätzprozess wird durch eine leistungsstarke Steuereinheit gesteuert, die eine Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet, die von anderen Systemen nicht verfügbar ist. Zur präzisen Steuerung verwendet 2300 Flex 45 eine patentierte Vision-Ausrüstung, die das Muster im Wafer scannt, um präzise Ätzergebnisse zu liefern. Die Abscheidekammer von LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist in der Lage, Geschwindigkeiten, Substrattemperaturen und Druck zu steuern, um Beschichtungen mit überlegener Gleichmäßigkeit und Ausbeute zu schaffen. Dieses System ist bekannt für seine robuste Bauweise, die nicht nur ein ertragsstarkes Ätzen ermöglicht, sondern auch schnelle Prozessdurchlaufzeiten und minimale Ausfallzeiten zwischen jedem Prozess ermöglicht. Die Konstruktion dieser Einheit ermöglicht auch die Arbeit mit Hochtemperaturmaterialien, sowie Niedertemperaturmaterialien. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine optimierte Kammerkonstruktion, die eine gleichmäßige Gasverteilung und eine Verringerung der Prozesstemperaturgradienten gewährleistet. 2300 Flex 45 Maschine kann auch mit einer optionalen Kryoätzeinheit konfiguriert werden, die dem Ätzprozess ein kryogenes Element hinzufügt. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist ein erstklassiger Ätzer/Ascher in der Halbleiterindustrie und eine ideale Wahl für Anwendungen, die ein extrem robustes und zuverlässiges Werkzeug benötigen. 2300 Flex 45 verfügt über eine breite Palette von leistungsstarken Funktionen, um einheitliche, wiederholbare und ertragsstarke Beschichtungen zu schaffen und gleichzeitig hohe Prozessraten und Betriebstemperaturen zu erhalten. Für jede Halbleiteranwendung, die ein hochpräzises Ätzen und Aschen erfordert, ist LAM RESEARCH 2300 Flex 45 eine ausgezeichnete Wahl.
Es liegen noch keine Bewertungen vor