Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9235155 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für die Herstellung von Geräten mit Durchgangsloch- und Oberflächenmontagetechnologie entwickelt wurde. Es ist ein modulares, hochintegriertes System mit fünf einstufigen Prozesschemikalien zur Entfernung und Reinigung von Metallen und anderen Materialien. Der Flex 45 ist ideal für Quick-Turn-Prototyping und Produktionsläufe von Gerätetypen wie IC-Paketen, RFID-Tags, großen Substraten und Hochfrequenz-ICs. Die Flex 45 Ätzer/Ascher hat eine Vier-Stationen-Prozesskammer, die Plasma verwendet, um Oberflächen für verschiedene Metalle zu reinigen, einschließlich Germanium, Zinn, Kupfer, Titan, Aluminium, Gold und Wolfram. Der Flex 45 ist in der Lage, Bearbeitungsmaterialien zwischen 0,1 und 1,75 mm (0,004 bis 0,069 Zoll) in der Dicke mit einer Waferdickelgrenze von bis zu 0,6 mm (0,024 Zoll) zu ätzen. Die fünf einstufigen Prozesschemien der Einheit umfassen Chlor, Chlorwasserstoff, Schwefelhexafluorid, Xenondifluorid und Sauerstoff-Plasma. Der Flex 45 ist zudem mit Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Es umfasst eine Datenerfassungsmaschine, die Prozessdaten von über 35 Sensoren erfasst, um Produkteinheitlichkeit und umfassende Werkzeugkontrolle zu gewährleisten. Das Tool verfügt auch über fortschrittliche Grafiksoftware für eine benutzerfreundliche Bedienung, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Der Flex 45 ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheits- und Umweltmerkmalen ausgestattet, einschließlich Reinraumdesign gemäß ISO 14644 Klassen für die Partikelkontrolle. Der Flex 45 ist mit einem Duschkopf ausgestattet und bietet Reinraumreinigung von Auswerferstiften und Kassettenteilen, um eine saubere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet die Anlage niedrige Emissionen von Substraten, Chemikalien und Verunreinigungen für ihre lokale Umwelt. 2300 Flex 45 ist ein wesentliches Ätzmodell, das entwickelt wurde, um fortschrittliche Geräte unter Wahrung des höchsten Standards an Sicherheit, Umweltschutz und Leistung zu produzieren. Seine präzisen Ätzfähigkeiten, kombiniert mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und umfassenden Prozessüberwachung/-kontrolle machen es zum perfekten Werkzeug für die Präzisionsgeräteproduktion.