Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244869 zu verkaufen

ID: 9244869
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Etcher, 12" 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist eine Ätz-/Aschermaschine für hohe Serienproduktion. Es verfügt über erweiterte Ätz- und Aschefunktionen mit niedrigen thermischen Budgetanforderungen. Das System verwendet ein patentiertes dynamisches Ätz-/Ascheverfahren, das maximale Flexibilität bietet. Es ist die perfekte Lösung für die hochpräzise und hochdurchsatzreiche Waferbearbeitung. 2300 Flex 45 ist in der Lage, Wafer mit einer Runde bis zu 12 "zu verarbeiten und kann Werkzeuggrößen bis zu 20 Mikrometer handhaben. Es bietet drei Ätzoptionen, mit denen Benutzer die für ihre jeweilige Anwendung benötigten Prozessparameter auswählen können. Die erste Option ist Tieftemperaturätzen, das Plasma verwendet, um eine weichere Ätzung zu erzeugen, die die Mikroladungen reduziert, die Schäden an dünnen Düsen verursachen können. Die zweite Option ist Hochtemperaturätzen, das eine höhere Temperatur und thermische Energie verwendet, um ein aggressiveres, tiefes Ätzen zu erzeugen. Die dritte Option ist ein hybrider Ätz-/Ascheprozess, der die beiden Prozesse für ein präziseres Ergebnis kombiniert. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 verfügt über eine Reihe weiterer fortschrittlicher Funktionen, die es zu einer idealen Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen machen. Seine eingebaute Chemie-Mischeinheit gibt Benutzern die Möglichkeit, die Prozesschemie zu ändern, um die Ätz-/Ascheergebnisse zu optimieren. Es verfügt auch über ein Multimode-Pyrometer, das Temperatur, Druck und Zeit messen kann. Zusätzlich kann mit dem Pyrometer graphische Plots von Waferdaten angezeigt werden, um Ätz- und Ascheprozesse in Echtzeit zu überwachen. Die Maschine verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie einen eingebauten Notabschalter und ein Drucküberwachungswerkzeug, um Unfälle zu vermeiden. Der modulare Aufbau ermöglicht einfache Wartung und Upgrades. Die Anlage kann auch so programmiert werden, dass sie spezifischen Produktionsanforderungen entspricht. 2300 Flex 45 ist ein zuverlässiger, leistungsstarker Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der Serienproduktion gerecht wird. Die fortschrittlichen Ätz-/Aschefunktionen des Modells, niedrige thermische Budgetanforderungen und flexible Prozessparameter machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen.
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