Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255633 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist eine Plasmaätz-/Aschermaschine für eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungsprozessen. Es wurde entwickelt, um einen effizienten und leistungsstarken Ätz- und Abscheidungsprozess in einer mittelgroßen Kammer anzubieten, was zu einer verbesserten Produktivität führt. Das System umfasst eine Kammer mit 45 cm Durchmesser und einen LAM Evergreen® Long Life Batch geätzten Hochleistungs-HF-Generator, um die gewünschte Prozessleistung zu gewährleisten. Der Prozessdruckbereich liegt zwischen 15 mTorr und 550 mTorr und die maximale Temperatur bei bis zu 300 ° C. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Ätzprozesse bereitzustellen, von der Antireflexbeschichtung (ARC) bis hin zu Nassreinigungsprozessen mit optionalem PFG (Plasmafluorid-Generator). Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Reihe von hochrangigen Automatisierungsfunktionen und fortschrittlicher Vakuumdiagnose ausgestattet. Die logikgesteuerte, benutzerfreundliche Software ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte zu erstellen, den Ätzprozess einzurichten und zu überwachen und die Ergebnisse zu analysieren. Darüber hinaus bietet das Tool hochindustrielle Sicherheitsstandards, automatisierte Sicherheitsverfahren und eingebaute Sicherheitsrelais. Ein fortgeschrittenes Signal Beleuchtung Asset warnt Betreiber einer Störung, und ein Alarmzeichen wird angezeigt, um ein mögliches Sicherheitsproblem zu veranschaulichen. Das Modell eignet sich für anspruchsvollere Ätzprozesse wie Legierungsätzen, Hochtemperaturprozessen und Metallätzen. 2300 Flex 45 ist ideal für Halbleiter- und MEMS-Hersteller, die nach einem fortschrittlichen Ätz-/Abscheideverfahren in einer wirtschaftlicheren mittelgroßen Ausrüstung suchen.