Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9261420 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex 45 ist eine Ätz- oder Aschermaschine, die eine hervorragende Metallätz- und Ascheleistung bietet. Es verfügt über ein Hochleistungs-Galvanometer-basiertes Abtastsystem, das eine präzise Strahlabgabe auf die Waferoberfläche ermöglicht. Die Einheit ist mit einem Zweiwellenlängenlaser ausgestattet, der in der Größenordnung von 45 mJ Pulsenergie bei 193 nm und 20 mJ Pulsenergie bei 248 nm erzeugt und eine hochselektive Ätz-/Asche durch hochenergetische Impulse unter Ausnutzung einer sehr kurzen Belichtungszeit liefert. 2300 Flex 45 umfasst erweiterte Funktionen zur Kantenerkennung und -ausblendung, sodass die Maschine ihren Laser nur auf die Kanten des Substrats fokussieren kann. Seine dynamische Abtastgeschwindigkeitsregelung sorgt dafür, dass die Ätz-/Aschegeschwindigkeit konstant gehalten wird und gleichzeitig optimale Ätz-/Ascheergebnisse gewährleistet sind. Es verfügt auch über ein verbessertes Gasförderwerkzeug, um eine breite Palette von Ätz-/Aschegasen wie Chlor, Fluor und Sauerstoff mit präzisen Durchflussraten und Injektionsuntersuchungszeiten zu liefern. Darüber hinaus umfasst LAM RESEARCH 2300 Flex 45 eine Kombination aus automatischer Strahlzentrierung und Strahlzeigerfunktionen, um eine schnelle Automatisierung zu gewährleisten. Es verfügt über einen schnellen Be- und Entlademechanismus für Wafer und ist mit den neuesten RESEARCH-Funktionen leicht aufrüstbar. Darüber hinaus ermöglichen die Betriebskonfigurationswerkzeuge den Anwendern die Steuerung der Ätz-/Ascheprozessparameter wie Gasströme, Strahlleistung, Belichtungszeit und Kantenerkennung, ohne dass die einzelnen Einstellungen der Komponenten angepasst werden müssen. 2300 Flex 45 eignet sich sowohl für Forschung als auch für Produktionsanwendungen und bietet überlegene Ätz-/Ascheleistungen.