Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9227341 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9227341
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Oxide etcher, 12"
Process: Etch
Material / Chemical: OX/Si
Operating system: Windows
SMIF / FOUP
Safety standard: SEMI S2-0706
(3) BROOKS Load ports
BROOKS Reliance ATR Loader arm
Transfer module: BROOKS MagnaTran Transfer arm (Robot)
EDWARD STP-IXA3306C Pump
(3) MKS RF Generators
Chamber
Gas box
Gases:
Process gas 1: CHF3
Process gas 2: NF3
Process gas 3: O2
Process gas 4: CF4
Process gas 5: CH3F
Process gas 6: C4F8
Process gas 7: N2
EFEM
VTM & Exhaust cover
PM2
AC Rack
RF Cart
Gas box
GIB
(3) Load ports
Monitor rack
Light curtain
Gas line
APCU Box
Parts box
Cable & gateway box
RPDB
Does not include hard disk
Power: 208 V
2013 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für hohe Serienbedürfnisse. Es ist in der Lage, außergewöhnliche qualitative und präzise Ätz- und Ascheprozesse auf einer Vielzahl von Substraten zu liefern. 2300 Flex EX verfügt über eine vakuumdichte, chemisch beständige Kammer, die vollautomatisiert ist, die Bedienung vereinfacht und die Prozessstabilität verbessert. Diese geschlossene Anlage bietet eine saubere und sichere Verdampfungskammer für reaktive und giftige Stoffe mit doppelter Kontaminationskontrolle. Für eine verbesserte Prozesssicherheit ist ein integriertes Umweltüberwachungssystem eingebaut. Die große Kammer ermöglicht große Substratgrößen und bietet Platz für bis zu 12 „x12“ x6 „Edelstahl- oder Quarzsubstrate sowie 6“ Quarzscheiben. Für eine effektive Gleichmäßigkeit, Abdeckung und Ätzfähigkeit ist LAM RESEARCH 2300 Flex EX in der Lage, Ätzprozesse mit bis zu 6 Stufen und 12 Gasen durchzuführen. Das Gerät kommt auch mit einer Auswahl von zwei Hochleistungs-Gasquellen, entweder mit einer Turbo-Molekular-Pumpmaschine oder einer Kombination aus einer Drehstützpumpe und einer Kryo-Pumpe. Darüber hinaus verfügt 2300 Flex EX über ein erweitertes Steuerwerkzeug mit einer voll programmierbaren Prozesskammer, mit einer Vielzahl von Prozess- und Ätzkonfigurationen. Es verfügt auch über eine Echtzeit-Temperatur und Drucküberwachung, für eine schnellere und genaue Datenerfassung, sowie eine Reihe von integrierten Diagnose- und Selbsttestfunktionen für eine einfachere Bedienung und Fehlerbehebung. Mit der neuesten Hardware und Software bietet LAM RESEARCH 2300 Flex EX Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit zu erschwinglichen Kosten und ist damit die perfekte Ätz- und Aschelösung für mehrere Substratmaterialien und Prozessanwendungen. Mit seiner vereinfachten Bedienung und dem sicherheitsorientierten Design bietet 2300 Flex EX eine zuverlässige und leistungsstarke Produktionslösung.
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