Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270658 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist ein leistungsstarkes freistehendes Ätz-/Ascherwerkzeug für hochdichte Plasmabearbeitungsanforderungen. Es ist gebaut, um das Ätzen und Aschen von kritischen Schichten für die Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente zu handhaben. 2300 Flex EX verfügt über eine intuitive offene Plattform-Benutzeroberfläche, die einfachen Zugriff auf Prozess- und Rezeptmanagement-Systeme bietet und bis zu 30 Rezepte speichert. Die Maschine bietet außerdem eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit, extrem niedrige Verschmutzungsraten und eine überlegene Substratgleichförmigkeit. LAM RESEARCH 2300 Flex EX nutzt eine Vielzahl von Engineering-Prozesskontrolltechnologien, um eine hervorragende Ätzleistung zu gewährleisten. Dazu gehören fortschrittliche Plasmaquellensteuerung für effizientes Ätzen, Auto-FID (Advanced Fundamental Interface Diagnostics) für die Echtzeit-Prozessüberwachung und Prozesssteuerungsmodule (Process Control Modules, PCMs) für die Verarbeitung von geschlossenen Schleifen zur Gewährleistung der Ätzgleichförmigkeit. 2300 Flex EX verfügt auch über Windows-basierte Bedienerkonsolen und bietet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für einfache Einrichtung und Überwachung. LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist in der Lage, Substrate von bis zu 200mm Durchmesser zu verarbeiten und verwendet entweder eine Remote Plasma Source (RPS) oder eine Direct Excitation Source (DES) zum Ätzen. Das Design der Maschine bietet eine beleuchtete Prozesskammer und ausgezeichnete Prozessstabilität durch die Verwendung von beheizten Gasleitungen und Dual-Wafer-Patronen-Shutter-Tracking. 2300 Flex EX bietet auch ein optionales Fernlastschloss-Design für das integrierte Be- und Entladen von Substraten. LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist mit einem integrierten In-situ-Gasversorgungssystem ausgestattet, das bis zu 8 an die Prozesse gelieferte Gase bereitstellt, mit einem integrierten Rückseitenheizsystem, um eine gleichmäßige Rückseitentemperatur der Wafer zu gewährleisten. Die Maschine hat auch eine in-situ saubere Funktion für die Nachätzreinigung, um Partikel und Rückstände in der Verarbeitungskammer zu beseitigen. Schließlich bietet 2300 Flex EX viele fortschrittliche In-situ-Diagnosefunktionen, wie Plasmabildgebung, zur umfassenden Prozessoptimierung und Kammerwartung. Diese Eigenschaften, kombiniert mit dem fortschrittlichen Kammer- und Prozessdesign, machen LAM RESEARCH 2300 Flex EX zu einem ausgezeichneten Werkzeug für fortschrittliche Plasmabearbeitungsanforderungen.