Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270660 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist eine Einzelwafer-Ätz- und Aschemaschine, die schnelle Ätz- und Aschegeschwindigkeiten für eine Vielzahl von Ätz- und Aschegasen bietet. Das System bietet fortschrittliche Feature Extraction (FE) -Technologie, um die qualitativ hochwertigsten Ätz- und Ascheergebnisse zu gewährleisten. FE passt die Prozessparameter für jeden Wafer automatisch an, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten und den Durchsatz zu maximieren. Das LAM 2300 Flex EX verfügt zudem über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Einrichtung von Ätz- und Ascherezepten ermöglicht und es Anwendern ermöglicht, Prozessparameter schnell und genau zu ändern. Die Plattform der Einheit bietet eine breite Palette von Ätz- und Aschekapazitäten, einschließlich Nassätzen, Trockenätzen, vorpassivierten Ätzen, Tiefätzen und Eckentlastungsätzen. Der LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist für eine Vielzahl von mehrschichtigen Ätzprozessen wirksam. Es kann Metalle so dünn wie 0,5 Mikrometer, komplizierte Spielformen und Grübchen gebohrte und elektrochemisch geätzte Löcher behandeln. Die fortschrittlichen Oxidations- und Spanntechnologien bieten eine bessere Kontrolle über den Aschevorgang. Die integrierte Temperaturüberwachung und die integrierte Ashing-Diagnose helfen dabei, die Prozessleistung zu optimieren. Die Wartungsfunktionen der Maschine umfassen automatisierte APM-Routinen (präventive Wartung), Onboard-Diagnosen, Echtzeit-Parameterüberwachung und den Zugriff auf Tools zur Unterstützung von Software-Updates. Der LAM 2300 Flex EX ermöglicht eine schnelle und genaue Gaslieferung und seine fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen gewährleisten die Sicherheit der Benutzer und die Einhaltung der Regulierungsstandards. Dieser Ätzer und Asher Asset trägt dazu bei, die stetig steigenden Anforderungen an hohe Serienproduktion und kostengünstige Ätz- und Ascheperformance zu erfüllen.
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