Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270870 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex EX ist ein Präzisionsätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Genauigkeit und Geschwindigkeit für das Ätzen und Aschen präziser und komplizierter Strukturen zu liefern. Dieses Gerät verfügt über eine große Prozesskammer, die von Raumtemperatur bis 500 ° C erwärmt werden kann, so dass eine Vielzahl von Halbleiter- und MEMS-Materialien verascht werden können. Die aktiven Gase O2, N2 und PLOT sorgen zusammen mit der Turbopumptechnologie für eine Vakuumumgebung innerhalb der Kammer für optimale Ätz- und Ascheleistungen. Das System verfügt über einen Roboterarm mit einer positionierbaren Wafer-Handling-Plattform. Dies kombiniert mit der fortschrittlichen Software und Robotik bietet dem Bediener maximale Flexibilität und Fähigkeit bei der Programmierung und Ausführung des Geräts. Die Maschine unterstützt das automatische Be- und Entladen von Substrat mit optionalen Spezialkassetten, die Durchwaferätzen oder -veraschen und effiziente Split-Plane-Prozessabläufe ermöglichen. Der LAM 2300 Flex EX ist mit einem hochpräzisen Wafer-Ausrichtwerkzeug für überlegene Genauigkeit in der Handhabung von Wafern ausgelegt. Dieses Asset verfügt auch über YFS (YieldFocus Software) - einen automatisierten Optimierungsalgorithmus zur Optimierung der Ätz- und Aschebedingungen nach bestimmten Kriterien des Betreibers. Darüber hinaus verfügt es über eine Echtzeit-Wafer-Position und ein metrisches Tracking-Modell für präzise und genaue Wafer-Musterung. Dieses Gerät umfasst darüber hinaus erweiterte Prozesssteuerungs- und Datenerfassungsfunktionen für die In- und Post-Run-Prozessdiagnose. Die Gase O2, N2, PLOT können genau abgestimmt werden, um eine stabile Prozessumgebung zu schaffen. Darüber hinaus bietet das LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX eine Reihe von Prozessmesstechnikoptionen wie ECD (Electrical Content Deposition) und XRF (Röntgenfluoreszenz). Zum Abschluss ist 2300 Flex EX ein hocheffizienter und präziser Ätzer/Ascher, der den höchsten Anforderungen des Halbleiter- und MEMS-Herstellungsprozesses gerecht wird. Das System nutzt Echtzeit-Messtechnik und Prozesskontrolle, um hohe Ausbeute und geringe Defekte zu gewährleisten und gleichzeitig maximale Flexibilität, Genauigkeit und Geschwindigkeit zu bieten.