Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex #293604470 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 2300 Flex Asher/Etcher ist eine fortschrittliche chemische Ätz-/Ascheausrüstung, die mehr Zuverlässigkeit und verbesserte Verarbeitungsleistung bietet. Dieses System ist in der Lage, eine breite Palette von Wafern und Substraten zu handhaben und bietet gleichzeitig eine hervorragende Prozesskontrolle und Genauigkeit. 2300 Flex ist äußerst benutzerfreundlich und eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum. Die Einheit umfasst eine Ätzkammer und eine Klapphaube, die einen einfachen Zugang zur gesamten Prozesskammer ermöglicht. LAM RESEARCH 2300 Flex bietet eine hervorragende Temperaturregelung mit Temperaturkontrollgenauigkeit bis zu einem Grad Celsius. Die Maschine verfügt auch über ein eingebautes Vorschubwerkzeug, um eine Plattform zum Be- und Entladen von Wafern sowie eine Vielzahl von Verteilerventilen zur chemischen Vorschubsteuerung bereitzustellen. Darüber hinaus verfügt 2300 Flex über eine Vielzahl fortschrittlicher Asset-Funktionen zur Verbesserung der Prozessleistung. Es verfügt über Material Parameter Determination (MPD) -Merkmale, um wichtige Materialeigenschaften für eine verbesserte Prozesssteuerung zu identifizieren. Das Modell verfügt außerdem über einen automatisierten Prozessregler, der alle Ätz- und Aschezeiten und Temperaturen kontrolliert, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der Ascher/Ätzer verwendet auch eine fortschrittliche Gaszufuhrausrüstung, die eine direkte Gaszufuhr und Abgase in die Reaktionskammer ermöglicht. Dies erhöht die Prozessstabilität, die Wafereinheitlichkeit und die gesamte Prozesseffizienz weiter. Das System verfügt auch über mehrere Filtrations-/Trenn- und Eindämmungssysteme, die den Bediener schützen und eine hohe Prozessqualität aufrechterhalten. Weitere Merkmale von LAM RESEARCH 2300 Flex sind eine hochmoderne Wafer-Handhabungseinheit, die Substrate von bis zu 6 "Größe aufnehmen kann. Die Maschine hat auch Auto-Chuck Temperaturen, um homogene und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten, und Auto-Tune-Rührung für verbesserte Prozeßwiederholbarkeit. Insgesamt ist 2300 Flex Asher/Etcher ein leistungsstarkes, flexibles und benutzerfreundliches Werkzeug, das in der Lage ist, eine breite Palette von Substraten und Anwendungen zu handhaben. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Forschungs- und Produktionsumgebungen und bietet ausgezeichnete Leistung und Zuverlässigkeit.
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