Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex #9062178 zu verkaufen
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ID: 9062178
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Dry etcher, 12"
Non-SMIF
GEM
Wafer OF type: notch at 6 o'clock
TM Robot: Brooks Mag7
EFEM Robot: Brooks (white)
PM: 3-Ch
TMP: (3) Alcatel ATM 1600
Generator: (3) APEX1513/RFDS
Gas Box: Digital gas box
Loadport
2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex ist ein multifunktionaler, elektromagnetischer Plasmaätzer/Ascher, der speziell für die Halbleiterherstellung und -forschung entwickelt wurde. Es hat die Fähigkeit, Ätz-, Passivierungs-, Oxidstripp- und Metallätzprozesse durchzuführen. Das Gerät besteht aus einer kompakten und erweiterbaren Basiseinheit, die mit einer Hochfrequenzstromversorgung, einem Materialhandhabungssystem, einer Prozesskammer und einer Vakuumpumpe ausgestattet ist. Die Hochfrequenz-Stromversorgung ermöglicht höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Prozessparametern, auch wenn sie über einen weiten Bereich von Spannungen, Strömen und Drücken betrieben werden. Die Materialhandhabungseinheit gewährleistet eine genaue, wiederholbare Be- und Entladung und Übertragung von Materialien. Diese Maschine kann aus einem Roboter, einem oder mehreren Lastschlössern, die zur Isolierung der Prozesskammer von der Umgebung dienen, oder einem rotierenden Trommelzuführwerkzeug bestehen, je nach Bedarf des Benutzers. Die Prozesskammer ist der Ort, an dem die Ätz- und Ascheprozesse stattfinden. Die Kammer ist intern mit der Hochfrequenz-Stromversorgung und der Vakuumpumpe verbunden, die eine kontrollierte Ultrahochvakuumumgebung für die Verarbeitung bereitstellen. Die Kammer ist so konstruiert, dass sie hervorragende optisch klare Wände und eine sehr geringe Ausgasung aufweist, die es dem Gut ermöglicht, sowohl Hochvakuum als auch niedrige Innendrücke aufrechtzuerhalten, die für empfindliche Ätz- und Ascheprozesse erforderlich sind. 2300 Flex kann mit verschiedenen Gas- und chemischen Komponenten für Flexibilität konfiguriert werden, um viele Materialien zu verarbeiten, einschließlich Metalle, Keramiken, Oxide und Polymere. Das Modell kann auch zur Verarbeitung und Aushärtung von Photoresists und zur Verdünnung von Wafern verwendet werden. LAM RESEARCH 2300 Flex ist eine benutzerfreundliche, modulare Ausrüstung, die sowohl für Serien- als auch für Inline-Produktionsanwendungen konzipiert ist. Es bietet Zuverlässigkeit, hohe Prozesskontrollgenauigkeit und eine breite Palette von Funktionen, die es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz- und Ascheprozesse machen.
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