Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex #9157494 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex Etcher/Asher ist eine weit verbreitete fortgeschrittene Plasmaätz- und Plasmareinigungsplattform, die für eine effiziente und genaue Prozesskontrolle entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Mehrkammer-Sequenzrezepte auszuführen und in zuverlässig wiederholbaren Prozessen einheitliches Ätzen oder Reinigen anzuwenden. Diese Ausrüstung verwendet fortschrittliche Plasmatechnologie, um eine Vielzahl von Materialien mit präziser Kontrolle abzulegen, zu ätzen und zu reinigen. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, MEM-, Elektronik- und optoelektronischen Industrie. Dieses System verfügt über eine 5-achsige mechanische Transporteinheit mit drei Modulen - Prozessmodul, Speichermodul und Absperrventilmodul -, um eine hohe Leistung zu liefern. Jedes Modul bietet einzigartige Prozessvorteile und -funktionen. Prozessmodule bieten eine große Auswahl an Prozessgasen, wie reaktive Ionen- und Ätzchemie, so dass der Benutzer unterschiedliche Ätzbedingungen einstellen kann, einschließlich hoher Temperatur und HF- und DC-Leistung. Das Speichermodul ermöglicht das dynamische Be- und Entladen von Substraten zur Verarbeitung oder Lagerung im abgedichteten Umgebungsmodul oder in einer Reinraumumgebung. Schließlich ermöglicht das Absperrventilmodul eine schnelle Trennung und eine Gasleitungsumschaltung für überlappende Prozesse. 2300 Flex ist mit einer benutzerfreundlichen mehrstufigen Automatisierungsmaschine ausgestattet, die es dem Anwender ermöglicht, Rezepte zu definieren und Prozessparameter zu steuern, wodurch der Durchsatz effektiv beschleunigt und optimiert wird. Es ist auch mit fortschrittlichen Überwachungs- und Diagnosewerkzeugen ausgestattet, die Prozesssichtbarkeit und Echtzeit-Feedback bieten, um Parameter für mehr Prozessstabilität und Zuverlässigkeit anzupassen und zu korrigieren. LAM RESEARCH 2300 Flex ist ein zuverlässiges Prozesswerkzeug, das eine präzise, wiederholbare Leistung mit vielen Prozesssteuerungsfunktionen ermöglicht. Durch die Annahme eines fortschrittlichen Mehrkammer-Sequenzdesigns unterstützt es die Integration einer Vielzahl von Ätz- und Reinigungsanwendungen in einem Werkzeug. Die robuste Architektur verfügt über mechanische Transport- und Automatisierungssysteme, mit denen Anwender Prozessparameter schnell und einfach einstellen können. Es bietet zuverlässige, wiederholbare Leistung bei Beibehaltung von Kosteneinsparungen und besseren Betriebszeiten. 2300 Flex ist ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, der den Anforderungen mehrerer Märkte gerecht wird.