Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex #9157500 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex ist eine Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um komplexe Muster auf Halbleiterscheiben genau zu ätzen und zu aschen. Es ist ein hochautomatisiertes System, das mit einer Vielzahl von Technologien wie Plasmaätzen, Ionenstrahlfräsen und chemischem Ätzen kompatibel ist. Das Gerät verwendet integrierte Prozesssteuerung, automatisierte Bühnenbewegung und rezeptgetriebenen Maschinenbetrieb, um eine präzise Ausrichtung von Wafern und Gleichmäßigkeit von Ätz-/Ascheeinheiten zu gewährleisten. 2300 Flex bietet hohen Durchsatz mit geringer Variabilität und ist somit ideal für die Massenproduktion von Halbleiterscheiben. Die Maschine nutzt eine Mehrkammerprozesskammer, in der verschiedene Prozessschritte unabhängig voneinander manipuliert werden können. Es ist auch in der Lage, gleichzeitig zu widerstehen Beschichtung und Asche. Dies ermöglicht eine effiziente Verarbeitung komplexer Photomasken und Merkmalskonfigurationen, was zu minimaler Ätzvorspannung und verbesserter Gleichmäßigkeit führen kann. Das Tool bietet auch hochauflösende Bildgebung, dynamische O2-Reinigung und adaptive Prozesssteuerung (APC), die eine präzise Ätzsteuerung bieten. Diese Technologie gewährleistet die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Prozessen, während Beschädigungen des Wafers vermieden werden. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 2300 Flex eine Echtzeitdiagnose zur Überwachung des Ätzprozesses und zur Erkennung von Anomalien sowie eine Reihe von Kammerkonfigurationen und Temperaturoptionen. Das Asset bietet maximale Verfügbarkeit und Maschinenverfügbarkeit und wurde entwickelt, um die Wartung zu vereinfachen und eine schnelle Umstellung von Ätzprozessen zu ermöglichen. 2300 Flex ist mit Modulen vorkonfiguriert, die als bestimmte Ätz-, Aschen- oder Fähigkeiten fungieren, wie z. B. Resist Stripping oder Ionenstrahlfräsen. Diese Module ermöglichen es Benutzern, das Modell an die Anforderungen verschiedener Prozesse anzupassen. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 Flex eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die ein präzises Ätzen und Aschen komplexer Wafermuster bietet. Es nutzt eine Reihe fortschrittlicher Prozesskontroll- und Bildgebungstechnologien, um die Gleichmäßigkeit von Ätz-/Ascheverfahren zu gewährleisten und gleichzeitig eine effiziente Umstellung der Prozesse zu gewährleisten. Das System ist zuverlässig und entworfen, um maximale Verfügbarkeit und Verfügbarkeit für eine Massenproduktionsumgebung mit hohem Durchsatz zu gewährleisten.