Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex #9244818 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex ist eine Ätz-/Aschermaschine für die Präzisionsätzbearbeitung. Das System wurde entwickelt, um einheitliche Ätztiefen, Seitenverhältnisse und Kantentopographien in fortgeschrittenen mikroelektronischen Geräten und Dünnschichtprodukten bereitzustellen. 2300 Flex bietet erweiterte Funktionen wie hochauflösende Steuerung des Ätzprozesses, automatische Ausrichtung des Ätzprozesses und adaptive Ätzkorrekturen. Diese Eigenschaften machen die Einheit ideal für Prozesse mit präzisen Ätzprofilen, wie z.B. MEMs-Ätzen. Die Maschine verfügt auch über eine einzigartige Multi-Source-Konfiguration, die das Umschalten zwischen verschiedenen Gasen basierend auf Prozessanforderungen ermöglicht. Dies ermöglicht eine erweiterte Auswahl an Ätzrezepten, die spezifische Kundenanforderungen erfüllen können. LAM RESEARCH 2300 Flex bietet die Flexibilität, den Ätzprozess durch eine Vielzahl von Kammergeometrien präzise zu steuern. Dazu gehören kreisförmige, rechteckige, modulare und kundenspezifische Formen. Darüber hinaus kann das Werkzeug mit fortschrittlichen Sensoren, Reglern und angetriebenen Komponenten zur engen Steuerung der Ätzprozessparameter ausgestattet werden. 2300 Flex kann mit einer Vielzahl von Prozesskomponenten konfiguriert werden und ermöglicht eine Vielzahl von Ätzprozessen. Dazu gehören Reactive Ion Etching (RIE), Reactive Ion Beam Etching (RIBE), Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD), Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), Sputterätzen, schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und Trockenätzen. LAM RESEARCH 2300 Flex umfasst auch eine Reihe von Plasmaquellenoptionen, wie kapazitiv gekoppelte Plasma- (CCP), induktiv gekoppelte Plasma- (ICP) und Gleichstrom- (DC) Stromquellen, die eine verbesserte Prozesssteuerung und spezifische Prozessanforderungen ermöglichen. Insgesamt ist 2300 Flex ein idealer Vorteil für präzise Ätzanwendungen mit Funktionen sowohl für hochauflösende Ätzprofile als auch für schnelle Durchlaufzeiten. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Ätzprozessen durchzuführen, die maximale Flexibilität für kundenspezifische Anforderungen ermöglichen.