Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Flex #9244863 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Flex ist eine hochkomplexe, großflächige Ätz-/Aschermaschine, die für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen (IC) entwickelt wurde. Dieses mehrwellige Ätz-/Aschesystem ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, darunter Silizium, Quarz und Metalle. 2300 Flex integriert ein Einzelkammerdesign, wodurch der Kammerwechsel entfällt. Diese Funktion ermöglicht es LAM RESEARCH 2300 Flex, höhere Ausbeuten zu erzielen, da während des Ätzprozesses kein Materialtransfer zwischen Kammern erforderlich ist. Die Einheit besteht aus einer Mehrwellenlängenquelle, einem ICP-Wellenleiter und einer Computersteuereinheit, um eine maximale Prozessflexibilität zu gewährleisten. Die Maschine ist mit einer fortschrittlichen Ionenstrahlquelle ausgestattet, die hochenergetische Photoresist-Sputtern, reaktives Ätzen/Asche und neutrales Ätzen/Asche erzeugen kann. Diese Funktion macht 2300 Flex ideal für die Herstellung von ICs mit hohen Leistungsanforderungen. LAM RESEARCH 2300 Flex umfasst auch eine Präzisions-Laserstufe, die eine präzise Ausrichtung der Merkmale innerhalb des Ätz- und/oder Ascheprozesses ermöglichen kann. Das Tool ist mit einem fortschrittlichen Computercontroller mit benutzerdefinierten Parametern ausgestattet, die eine hohe Prozessflexibilität bieten. Darüber hinaus unterstützt 2300 Flex ein automatisiertes Ladegerät und ein evakuierbares Glockenglas für verbesserte Prozessleistung und Zykluszeitoptimierung. Dies ermöglicht die Überwachung und Ausrichtung von Waferdüsen ohne manuellen Austausch von Waferträgern. Die Kombination aus hochenergetischem Photoresist-Sputtern, reaktivem Ätzen und neutralem Aschen macht LAM RESEARCH 2300 Flex zu einer idealen Wahl bei der Herstellung modernster ICs mit hohen Leistungsanforderungen. Es ist in der Lage, die Produktivität durch seine Einkammer-Design und automatisierte Load-Lock-Modell zu erhöhen. Darüber hinaus bietet es durch seine Computersteuerung eine hohe Prozessflexibilität sowie präzise Ausrichtungsmöglichkeiten durch seine Präzisionslaserstufe. Diese kombinierten Eigenschaften machen 2300 Flex zur perfekten Ätz-/Aschelösung für wachsende Hochleistungs-IC-Anforderungen.