Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series #9407036 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series ist ein Desktop-Wafer-Ätzer/Ascher, der die Wiederholbarkeit und Genauigkeit von Wafer-Ätz- und Aschtechniken garantiert. Diese Maschine ermöglicht Ätz- und Aschetechniken für Wafer im Durchsatz von 300 WSPM mit einer Genauigkeit von 0,05 mm auf einem einzigen Wafer. Es ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Biosensor- und MEMS-Produktion sowie für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. 2300 Kiyo E Serie verfügt über eine Multi-Hohlraum Revolver Verarbeitungskammer, die mehrere Ebenen der Umweltkontrolle und Schnittstellenkompatibilität bietet. Es ist mit einer hochempfindlichen konformen Heizeinrichtung ausgestattet, die eine gleichmäßige Erwärmung des Wafers über seine gesamte Oberfläche ermöglicht. Dies garantiert wiederholbare und präzise Ergebnisse. Darüber hinaus bietet die hohe Abscheidegeschwindigkeit durch die verbesserte konforme Erwärmung maximale Prozesseffizienz bei gleichzeitiger Reduzierung von Abfall. Die LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series verfügt zudem über einen Doppelrücklauf-Endeffektormechanismus, der die Handhabung des Wafers steuert und genau an die richtige Position für das Ätzen und Aschen bringt. Dies geschieht mit einem hochdynamischen Hydrauliksystem, das eine genaue Platzierung ermöglicht und die Produktintegrität aufrechterhält. Der Endeffektormechanismus ist auch mit einer breiten Palette von Wafergrößen kompatibel, von 50mm bis 200mm. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über eine intelligente Mehrpunktsteuerung, die eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheflusses bietet. Diese Maschine ermöglicht es der Maschine auch, Parameter automatisch abzustimmen, um die Wiederholbarkeit und Effektivität des Prozesses zu verbessern. Darüber hinaus wird es mit einer sauberen Design-Architektur entworfen, die maximale Prozessstabilität garantiert und den Werkzeugwartungsaufwand reduziert. Schließlich bietet die 2300 Kiyo E Serie fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, die die Sicherheit der Bediener gewährleisten, wie z. B. eine Nothaltetaste und einen Sicherheitsvorhang. Dies gewährleistet eine vollständige Bedienersicherheit beim Betrieb der Maschine.