Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293636765 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 293636765
Weinlese: 2012
Metal etcher
Missing parts:
Qty / Description
(3) / Load ports
(1) / ATM Robot
(1) / Aligner
(1) / EPX180N Pump
(1) / Terminal server
(1) / UI Computer
(1) / 24 V DC Power supply
(1) / ATM Robot controller
(1) / UPS
(1) / TM Solenoid bank
(1) / Scara arm
(1) / VTM Robot
(1) / Super slot board
(4) / Chamber rocker assemblies
(2) / Airlock rocker assemblies
(12) / STEC MFCs
(4) / TCP Matches
(4) / TCP Coil assemblies
(4) / ASSY, 2300 SYM Doors linkage
(4) / ESC, Bowl cover with hinges and pivots
(4) / MNMTR Ports, end PT
(4) / Liner, bias MNTG Plates
(4) / WLDMT, INTFC Chambers separate NOZ
(4) / INJ, Dual, FACSEAL, IEP, HNYCMB, CER
(4) / Windows, ceramic LSR repair
(4) / Windows, quartz
(4) / Rings, edge combo quartz, 12"
(4) / Multiport vacuum valves
(4) / Plasma door shaft sleeves
(4) / Windows, CER LLT CTD Bayonet 2300
(4) / ESC, Tunable M-Z, 12"
(4) / Chambers, top PC 2300 MTL/PL
(4) / TCR
(4) / Liners, SYM Hi-flow 2300 SRC
(4) / Liners, fixed outer ACME 230
(4) / Cantilever liners
(4) / ESC Insulator rings
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Left hairdryer)
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Right hairdryer)
(4) / Bias matches
(4) / He enclosures
(4) / PS 15 ABD 24 VDC
(4) / VME
(4) / VAT Pendulum 2300 Valves
(4) / 2.7 L Turbo VAC PMP
(4) / AC Enclosures
(4) / RF Carts
(4) / Node 1
(4) / Interlock boards
(4) / Proces manometers
(8) / Chamber and foreline manometers
(4) / TCP RF Cables
(4) / Bias RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX ist ein Ätzer/Ascher, der den genauen Anforderungen der Halbleiterherstellungsindustrie gerecht wird. Diese moderne Ausrüstung wurde speziell entwickelt, um die Anforderungen der naßchemischen Verarbeitung von Substraten in der Halbleiterbauelementherstellung zu erfüllen. Der Hauptzweck dieses Gerätes ist es, selektiv/Ascheschichten aus Material auf Siliziumscheiben zu ätzen. Es ist in der Lage, ultradünne Schichten von Materialien zu erzeugen, um Merkmale zu schaffen, die nur Nanometer dick sind. Die dünnen Schichten sind entscheidend für die Steuerung der Abmessungen und Eigenschaften von Widerstandselementen wie Transistoren. 2300 Kiyo MCX ist eine kompakte, sich wiederholende Maschine, die im Batch-Modus arbeitet. Es ist eine dreiachsige Ausrüstung mit einer horizontalen Kammer und Pulverdispersionssystem, komplett mit einem integrierten magnetischen Spray. Das Spray dispergiert eine gleichmäßige Materialschicht auf dem Substrat, die dann mit herkömmlichen naßchemischen Verfahren geätzt/adert werden kann. Das Gerät umfasst mehrere Komponenten, wie einen Rezirkulationsfilter, eine Quarzhülle und eine Vakuumeinheit. Die Quarzhülle verhindert, dass die Wärme aus dem Widerstandselement andere Bereiche des Substrats beeinflusst, wodurch präzise Ätz-/Aschevorgänge möglich sind. Eine Vakuummaschine wird verwendet, um den geätzten Rückstand und das überschüssige Material zu entfernen, während der rezirkulierende Filter Verunreinigungen und Partikel entfernt, um das Produkt von höchster Qualität zu gewährleisten. LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX ist in der Lage, mit Geschwindigkeiten von etwa 10 Fuß pro Sekunde zu arbeiten, was eine erhöhte Produktivität und Wiederholbarkeit ermöglicht. Alle nasschemischen Verarbeitungsschritte sind automatisiert, während Feedback-Kontrollsysteme es den Benutzern ermöglichen, den Prozess zu überwachen und Parameter nach Bedarf leicht anzupassen. Darüber hinaus werden Sicherheitsfunktionen in das Tool integriert, einschließlich Alarme und Verriegelungen, um sicherzustellen, dass alle Prozesse sicher abgeschlossen werden. Die hohe Präzision und Zuverlässigkeit von 2300 Kiyo MCX machen es zur idealen Wahl für die komplexen Anforderungen der Halbleiterherstellung. Mit seinen automatisierten Systemen und umfassenden Sicherheitsmerkmalen ist dieser Ätzer/Ascher in der Lage, bei hohen Durchsatzraten zuverlässig qualitativ hochwertige Produkte herzustellen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor