Gebraucht LAM RESEARCH 2300 KIYO METAL(EFEM/TM) #9134009 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 KIYO Metal (EFEM/TM) ist ein Ätzer und Ascher der nächsten Generation, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Dieses Tool wurde entwickelt, um Rapid Prototyping, Prozessentwicklung und Produktion von erweiterten Gerätefunktionen zu ermöglichen. Mit seiner fortschrittlichen Etch-Front-Steuerung und der hohen Selektivität bietet der 2300 KIYO TM das höchste Maß an Präzisions-Gasphasenetch und -ascher. Der 2300 KIYO kann mit einer Vielzahl von Substratmaterialien wie Silizium, Quarz, Glas und Metallen verwendet werden. Das Werkzeug ist in der Lage, grundlegende Grabenätz- und Tieflochätzparameter zu unterstützen. Seine tiefen Löcherätzfähigkeiten ermöglichen die Verarbeitung von Submikron-Strukturen, während seine flachen Grabenätzfähigkeiten die Bildung ultradünner Schichten ermöglichen. Das Tool ist auch mit fortschrittlichen Funktionen wie Multi-Zone-Temperatur-Tuning und LP-RF-Technologie ausgestattet, um die Ätzbedingungen für bestimmte Anwendungen feinjustieren. Das 2300 KIYO TM Setup umfasst einen proprietären Hochfrequenz-HF-Generator, Ionenquellen-Netzteile, lineare Ionenführungsgeräte und Vakuumkammer. Das Werkzeug unterstützt auch 1- und 2-seitige Wafer sowie mehrere Ätz- und Ascherwerkzeuge. Das System verfügt über eine hochmoderne Automatisierungssteuerung, die eine schnelle und zuverlässige Prozesssteuerung gewährleistet. Der 2300 KIYO verfügt zudem über ein integriertes programmierbares elektrostatisches Spannfutter, das eine erhöhte Prozessausbeute gewährleistet. Es verfügt auch über eingebaute Gaspaneele und Vakuumkammern, die eine Fernbedienung der Einheit ermöglichen. Die Maschine wurde entwickelt, um eine hohe Selektivität und verbesserte Ätzrate mit einer Gesamtätzrate von bis zu 5E10 Brenner zu erreichen. Zum Werkzeug gehört auch ein automatisiertes Wafer-Tracking-Tool, das für konsistentes Ätzen und hohen Durchsatz sorgt. Insgesamt ist LAM RESEARCH 2300 KIYO ein leistungsstarker Ätzer und Ascher, der das schnelle Prototyping, die Prozessentwicklung und die Produktion fortschrittlicher Gerätefunktionen ermöglicht. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten ist es ideal für die Geräteherstellung in der Halbleiterindustrie geeignet.