Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #174756 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 174756
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Metal dry etch system, 12"
Type of Loadport: SMIF
Number of Process Chamber: (2) Metal Etch & (2) MWAVE STRPR
Configuration of SMIF:
Signal Tower: 3-colors
Number of Loadport: 3
Parts No. of Loadport: 799-901175-004
Number of ATM Robot: 1
Parts No. of ATM Robot: 121668
Buffer Station: 25 slots, 2 Buffer Station
Aligner: 1 Aligner
Configuration of Transfer Chamber
Number of Loadlock: 2 LL / 4 Slot Cool Chamber
Model of Transfer Robot: Magnatran7 / Borrks
Parts No. of Lock Valve: 853-007859-005 / 4ea
TM Pressure Gauge: HPS Series907 / MKS
TM Pressure Control: MKS Series640
LL Pressure Gauge: HASTING
Configuration of Etch Chamber:
PM2:
Model of Chamber: 2300 Metal
Year of Construction: 2005
Model of Pressure Gauge: MKS, 0.1Torr
Model of Throttle Gate Valve: 65048-PH52-ADR1 VAT
Model of Turbo Pump: ATH2300M Alcatel
Model of TCP RF Generator: RFG / AE
Model of Bias RF Generator: APEX1513 / AE
Configuration of Etch Chamber:
PM3:
Model of Chamber: 2300 Metal
Year of Construction: 2005
Model of Pressure Gauge: MKS, 0.1Torr
Model of Throttle Gate Valve: 65048-PH52-ADR1 VAT
Model of Turbo Pump: ATH2300M Alcatel
Model of TCP RF Generator: RFG / AE
Model of Bias RF Generator: APEX1513 / AE
Configuration of MW Chamber:
PM1:
Model of Chamber: 2300 MWAVE STRPR
Year of Construction: 04-2006
Model of Pressure Gauge: MKS, Dual range
Model of Throttle Gate Valve: MKA, 253B-24836
Model of Vaporizer: MKS, WODMB-23398
Model of MW Generator: ASTEX, FI120160-3
Configuration of MFC: O2 5slm, N2 1slm
Configuration of MW Chamber:
PM4:
Model of Chamber: 2300 MWAVE STRPR
Year of Construction: 04-2006
Model of Pressure Gauge: MKS, Dual range
Model of Throttle Gate Valve: MKA, 253B-24836
Model of Vaporizer: MKS, WODMB-23398
Model of MW Generator: ASTEX, FI120160-3
Configuration of MFC: O2 5slm, N2 1slm
Configuration of Gas Panel, Etch Chamber:
Type of Gas Panel: IGS Bolck Type
No of Gas Channel: 8 Channel
Model of MFC: UFG8561
PM2:
BCL3 300sccm
N2 50sccm
Ar 500sccm
O2 1slm
CH4 50sccm
SF6 200sccm
Cl2 300sccm
CHF3 50sccm
PM3:
BCL3 301sccm
N2 51sccm
Ar 501sccm
O2 2slm
CH4 51sccm
SF6 201sccm
Cl2 301sccm
CHF3 51sccm
Gas Box 1.25C Seal Type
TMP Axiden ATH2300M
Micro Wave Power Gen MKS FI20160-3
RF Generator AE APEX-1513 and AE RFDS-1213
Chiller Unisem RCS 2500A
Power: 208VAC 3ph 4Wires 400AMPS 50/60Hz
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist eine revolutionäre Ätz-/Aschermaschine, die auf Präzision, Zuverlässigkeit und Flexibilität ausgelegt ist. Dieses fortschrittliche Ätz-/Aschensystem wurde entwickelt, um Geräte verschiedener Größen und Konfigurationen zu unterstützen. Seine Architektur ermöglicht eine genaue Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit beim Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Substratmaterialien. 2300 Kiyo-Einheit verwendet intelligente Algorithmen, um die optimalen Ätz- und Ascheparameter für jeden Substrattyp zu berechnen, und garantiert jedes Mal konsistente Ergebnisse. Es wurde entwickelt, um chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), chemisch-mechanisches Polieren (CMP), chemisches Ätzen (ISO etch), tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE) und reaktive Ionenätzverfahren (RIE) durchzuführen. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, präzise Rückseite Reinigung. LAM RESEARCH 2300 Kiyo-Werkzeug ist mit mehreren fortschrittlichen Funktionen wie einer Gasströmungsanalysefähigkeit, Temperaturregelung über den Druckbereich, Suszeptor-Abstimmung und einem Substrat-Temperaturregelmodus ausgestattet. Diese Funktionen ermöglichen es dem Bediener, das Asset anzupassen und anzupassen, um die gewünschten Ätz- und Auswertungsergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ermöglicht das Modell mit seinen integrierten intelligenten Prozesssteuerungen eine automatisierte Nachverfolgung und Anpassung relevanter Prozessparameter, was letztlich zu reproduzierbaren Ergebnissen führt. 2300 Kiyo Geräte werden auch mit intuitiver Software zur einfachen Systemsteuerung und Datenerfassung geliefert. Die GUI und Software des Geräts bieten Anwendern eine komplette Ätz- und Ascheumgebung, die reproduzierbare und zuverlässige Prozessleistung ermöglicht. Die Maschine ermöglicht es Anwendern, die Prozessdaten in Echtzeit über direkte, Multi-Site-Verbindungen zu überwachen und zu analysieren, sodass Anwender schnell fundierte Entscheidungen treffen können. Insgesamt bietet LAM RESEARCH 2300 Kiyo-Ätzer/Ascher-Tool beispiellose Zuverlässigkeit und Leistung zum Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Substraten. Seine erweiterten Funktionen und intuitive Software bieten eine einfache und effiziente Benutzererfahrung, so dass Benutzer jedes Mal wiederholbare und konsistente Ergebnisse erzielen können. Durch die Kombination dieser Funktionen und Fähigkeiten bietet 2300 Kiyo Asset eine umfassende Ätz- und Veraschungslösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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