Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293593184 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein Multifunktions-Vakuumätzer/Ascher, der für hochpräzises Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Diese Anlage wird weitgehend in Halbleiterherstellungsverfahren eingesetzt und ist in der Lage, Wafer und Substrate mit hoher Wiederholgenauigkeit zu ätzen und zu waschen. Das System kann sowohl harte Materialien als auch gemischte Kunststoff- und Polymerfilme ohne Beschädigung der Materialoberfläche ätzen. Dies ist auf die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Verfahrens zurückzuführen, was eine genaue Kontrolle über die Dicke des Ätzes und den erforderlichen Aschegrad ermöglicht. Das Gerät ermöglicht mehrere Ätz- und Ascheprozesse wie dielektrisches Ätzen, reaktives Ionenätzen (RIE) und reaktives Ionenaschen (RIA). Es verfügt auch über erweiterte Prozesskontrollfunktionen, um schnelle und zuverlässige Ergebnisse zu ermöglichen. Automatisierte Rückkopplungssteuerung überwacht den Prozess, um ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen zu gewährleisten und dabei Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu erhalten. Das fortschrittliche Prozesskammerdesign von 2300 Kiyo verwendet ein trockenes Vakuum, um Materialien zu ätzen und zu aschen, wodurch das Risiko einer Kreuzkontamination zwischen verschiedenen Substraten reduziert und die Betriebskosten reduziert werden. Die Kammer verfügt auch über überlegene Gaseinspritzmöglichkeiten, die eine präzise Kontrolle der Abscheiderate ermöglichen. Der Ätz- und Ascheprozess wird in einer programmierbaren und geschlossenen Umgebung abgeschlossen, um sicherzustellen, dass die Exposition gegenüber Chemikalien, Gasen und Partikeln minimiert wird. Dies verringert die Gefahr von Partikelverunreinigungen und verbessert die Gesamtsauberkeit des Verfahrens. Das flexible Kammerdesign und die fortschrittliche Prozesssteuerung bieten zudem eine hervorragende Prozessflexibilität in Bezug auf Durchsatz, Rezepturmanagement und Produktionsplanung. Die Maschine ist auch für maximale Prozessflexibilität ausgelegt, mit der Fähigkeit, sowohl Chargen- als auch kontinuierliche Prozessmodi zu betreiben. Abschließend ist LAM RESEARCH 2300 Kiyo ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für das Ätzen und Aschen von Wafern, Substraten und einer Vielzahl anderer Materialien in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Die erweiterten Funktionen für das Kammerdesign und die Prozesssteuerung bieten überlegene Prozessflexibilität und Präzision. Der geschlossene Werkzeugbetrieb sorgt dafür, dass die Exposition gegenüber Chemikalien, Gasen und Partikeln minimiert wird.