Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634814 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293634814
Wafergröße: 12"
System, 12"
FI
MF
Chamber
AC Rack
Gas up frame and pipe
Load port
Parts box
Gas box
Gas box inlet option: Reg filter inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Transducer type: Display
Chamber isolation valve: Barrier seal door
Gas delivery type: On-board (3 Line)
Injector: Standard (-072)
No leak
O-Rings: Fluorosilicone
PM to pump interconnect: Pump to PM, 100ft
Heated pendulum valve
MFC Type: STEC SEC-Z313
Line 1:
Gas flow-On Board: 1000sccm
Gas type-On Board: N2
Line 2:
Gas flow-On Board: 5000sccm
Gas type-On Board: O2
Line 3:
Gas flow-On Board: 2000sccm
Gas type-On Board: Ar
(3) Load port surface foggy non-functional
Missing parts:
Cooling station
(2) Buffer stations
Does not include HDD.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX ist ein effizienter Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, Industriestandards für fortschrittliche Materialätz-/Aschemaschinen und innovative Prozessfähigkeiten bereitzustellen. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um detaillierte Strukturen und Muster in einer Vielzahl von Substraten bis zu einer Größe von 6 Zoll genau zu ätzen/zu aschen und ist in der Lage, die modernsten Ätz-/Ascheanwendungen von heute zu unterstützen. 2300 Kiyo EX kommt mit einer eingebauten, leistungsstarken Ultrahochvakuum (UHV) -Plasmaätzanlage und Hochleistungs-HF-Energiequelle und -Turbopumpe, so dass Benutzer eine bessere Kontrolle über hohe Ätzselektivität bei erhöhter Ätzratenstabilität erzielen können. LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX umfasst auch eine Mehrkammerkonfiguration und ein fortschrittliches Kammertemperaturkontrollsystem zur feineren Temperaturregelung und saubereren Ergebnissen. Darüber hinaus ist diese Ätz-/Aschereinheit mit einer leistungsstarken Ladeblockiermaschine ausgestattet, die Substrate schnell und sicher in die Prozesskammer und aus dieser heraus überträgt, um das Be- und Entladen von Wafern zu beschleunigen. Der Kiyo EX verfügt zudem über ein hochpräzises plasmagesteuertes Endpunkterkennungswerkzeug, mit dem Anwender die Ätz-/Aschetiefe während Ätz-/Aschevorgängen genau und konsequent messen können. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und modernsten Funktionen ist 2300 Kiyo EX ideal für hochvolumige Ätz-/Aschevorgänge und bietet die Flexibilität, die anspruchsvollsten Ätz-/Ascheanwendungen zu bewältigen. Dieses Etcher/Asher-Asset ist mit allen wichtigen Wafer-Reinigungsprozessen kompatibel und bietet eine verbesserte Einheitlichkeit und einen verbesserten Durchsatz, um alle Arten von Ätz-/Ascheanforderungen zu erfüllen. Der Kiyo EX wurde mit fortschrittlichen Steuerungsfunktionen und Prozessfunktionen entwickelt und ist ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher für Spitzenätz-/Ascherleistung.
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