Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634890 zu verkaufen
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ID: 293634890
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ATM / VTM Robots
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für die Halbleiterverarbeitung. Es ist eine Einkammer-Ausrüstung, die sowohl Ätz- als auch Aschefunktionen bietet. Das System wurde mit fortschrittlichen Technologie- und Leistungseigenschaften entwickelt, um die Prozessergebnisse zu verbessern. 2300 Kiyo wurde entwickelt, um extrem einfach zu bedienen und zu warten, mit einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Oberfläche und gut organisierten Setup-Optionen. LAM RESEARCH 2300 Kiyo verfügt über ein hohes Maß an Fähigkeit in mehreren Anwendungsbereichen, einschließlich der Herstellung integrierter Schaltungen und der Herstellung nichtflüchtiger Speicher. Das Gerät nutzt eine Gaseinspritzeinheit (GIS) und eine Mehrstrom-Gasverteilmaschine (GDS), um eine optimale Prozesssteuerung zu gewährleisten. Das GIS ist in der Lage, hochgenaue und wiederholbare Durchflusssteuerung, während die GDS ermöglicht mehrere unabhängige Ätzer Rezepte gleichzeitig ausgeführt werden. Darüber hinaus enthält das Tool eine Reihe von Funktionen, die es für viele verschiedene Prozesse geeignet machen, einschließlich Remote-End-Point-Tuning und flexible Rezepte. Das Ätzelement bietet auch eine Reihe von indexergesteuerten Hardwareoptionen, darunter einen Hochgeschwindigkeits-Scanner, einen drehbaren Probenhalter und ein Ausrichtungsmodell. Dies ermöglicht die Herstellung hochkomplexer Strukturen ohne manuelle Ausrichtung. Das Gerät ist in der Lage, bei Temperaturen bis 200 ° C zu arbeiten und kann sowohl dielektrische als auch leitfähige Materialien mit einer Reihe von Ätzprozessen verarbeiten. Darüber hinaus verfügt 2300 Kiyo über eine Reihe von Sicherheits- und Umweltschutzmaßnahmen, einschließlich Prozessabfallrückgewinnungssystemen und Durchfluss-Vakuum-Containment-Systemen. Mit seinem intuitiven HMI können Anwender alle Prozessparameter und Reaktionsraten in Echtzeit überwachen. All diese Eigenschaften machen LAM RESEARCH 2300 Kiyo zu einem hochwirksamen, effizienten und zuverlässigen Werkzeug für die Halbleiterherstellung.
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